汎用SEM（タングステン・LaB6）のメーカー3社比較【2026年】

値段を公式に出しているのは島津製作所で、SS‑2000 LMSが3,890万円から（税込）⁠で⁠す⁠。同じSS‑2000のLMUは4,120万円から、GMUは5,450万円から（税込）⁠で⁠す⁠。ツァイスのEVO 10と松定プレシジョンのPrecisionSEM5600は、試料と使い方を伝えて見積もりを取ります。

30kVで、ツァイスのEVO 10が2.5nm（タングステン）⁠・2nm（LaB6）、島津のSS‑2000 LMSと松定プレシジョンのPrecisionSEM5600が3nmです。分解能は加速電圧と検出器の条件つきで書かれるので、同じ条件の数字どうしで比べます。

ツァイスのEVO 10は、試料室が直径310×高さ220mmです。島津のSS‑2000 LMSは直径100mm・高さ39mm、PrecisionSEM5600は厚さ40mmまでです。入れたい部品のいちばん大きな寸法を測り、試料室とステージに入るかをメーカーに確かめます。

低真空で見られる機種を選びます。ツァイスのEVO 10は10〜400Pa、拡張で3,000Paまでの圧力で使え、電気を通さない試料や水を含む試料も扱えます。島津のSS‑2000 LMSは30Pa固定の低真空、PrecisionSEM5600は低真空がオプションです。

島津のSS‑2000 LMSは、2倍の低い倍率から歪みを抑えて見られるので、広い範囲から異物の場所を探せます。最大は1,000,000倍です。探す範囲の広さと、見たい異物の大きさを決めてから、倍率の範囲で比べます。

どちらも電子を出す電子源で、ツァイスのEVO 10はどちらかを選べます。EVO 10の30kVの分解能は、タングステンで2.5nm、LaB6で2nmです。もっと細かく見たいならLaB6を選ぶか、電界放出形のFE‑SEMも比べます。

松定プレシジョンのPrecisionSEM5600は、試料の下にも対物レンズを置いた2つのレンズのSEMで、厚さ5mm以下の試料を高い分解能で見られます。試料に逆向きの電圧をかけて電子を減速させ、低い電圧で表面を細かく撮れます。

付けられます。ツァイスのEVO 10はSmartEDX、PrecisionSEM5600はEDSがオプションで、島津のSS‑2000は元素分析を専用ソフトEssenseで操作します。EDSは見ている所の元素をBからUまで同時に調べられるので、異物や材料の判別に使います。

島津のSS‑2000は、チェコのTESCANと組んだ島津ブランドの汎用SEMで、日本語のソフトとマニュアル、国内の保守が付きます。ツァイスのEVOは、日本法人のカールツァイスが扱います。保守の拠点と、部品が届くまでの日数を見積もりのときに確かめます。

材料や異物を30kVでふつうに見るなら、汎用SEMで足ります。低い電圧で表面のごく浅い所を細かく見たいならFE‑SEMです。値段は、島津のSS‑2000 LMSが3,890万円から、FE‑SEMのSS‑4000 LMHが1億1,000万円から（税込）⁠で⁠す⁠。