卓上SEMのメーカー3社比較【2026年】

このページの3製品は、今の値段を公式に出していません。日本電子の前の型JCM‑7000は、2019年3月の発売時に本体標準価格6,500,000円からでした。今の型は、試料の大きさ・低真空・EDSの有無を伝えて見積もりを取ります。

日本電子のJCM‑7000Plusは20kVで6.0nm、サーモフィッシャーのPhenom XL G3は9nm未満、テクネックス工房のTinySEMは17kVで約10nmです。卓上SEMは据え置きのFE‑SEMより粗いので、1nm級まで見たいならFE‑SEMを選びます。

サーモフィッシャーのPhenom XL G3は100×100mm・高さ40mmと、卓上SEMでは大きい試料がそのまま入ります。日本電子のJCM‑7000Plusは直径80mm・高さ50mm、TinySEMは直径50mmまでです。入れたい部品の寸法を測ってから選びます。

見られる機種があります。日本電子のJCM‑7000Plusは低真空モードが標準で付き、ガラスや樹脂も前処理なしで見られます。Phenom XL G3は低・中・高の真空を切り替えます。TinySEMは高真空のみなので、電気を通さない試料は金や白金パラジウムで表面を覆ってから見ます。

テクネックス工房のTinySEMは、電子レンズに永久磁石を使っていて除振台がいらず、100Vのコンセントだけで使えます。本体は約18kgで、分解して研究室の間を1人で運べます。ほかの機種は、置く机の広さと電源をメーカーに確かめます。

サーモフィッシャーのPhenom XL G3は、試料を入れてから像が出るまで平均40秒で、品質管理の数をこなせます。日本電子のJCM‑7000Plusは、繰り返しの測定をNeo Actionで自動にできます。1日に見る数と、1つにかけられる時間から選びます。

付けられます。日本電子のJCM‑7000Plusは自社製のEDSを組み込め、Phenom XL G3は本体に一体のEDSをオプションで付けます。TinySEMもEDSがオプションです。EDSは見ている所の元素をBからUまで同時に調べられるので、異物の正体を決めるときに使います。

日本電子のJCM‑7000Plusは、光学像で場所を探してからSEM像に切り替え、そのまま元素分析に進めます。Phenom XL G3も3〜16倍の光学ナビで場所を探します。小さな異物を探すことが多いなら、光学像とSEM像を切り替えられる機種を選びます。

サーモフィッシャーのPhenom XL G3は、寿命3,000時間のCeB6を電子源に使っていて、交換の手間が少なくて済みます。日本電子のJCM‑7000PlusとTinySEMはタングステンです。使う時間が長いなら、電子源の寿命と交換の費用もメーカーに聞いて比べます。

異物の確認や品質管理で、決まった大きさの試料を早く見るなら卓上SEMで足ります。大きな部品をそのまま入れたい、分析の検出器を何台も付けたいなら、試料室の大きな汎用SEMにします。ツァイスのEVO 10の試料室は直径310×高さ220mmです。