GUIDE / AFM

原子間力顕微鏡（AFM）⁠と⁠は⁠？汎用型・大型試料型・高速AFM・超高真空低温SPMの種類と、走査範囲・試料サイズ・価格の選び方

試料の表面を探針でなぞり、ナノメートルの凹凸や物性を測る原子間力顕微鏡（AFM）の4つの種類、走査範囲と試料の大きさ、液中での測定、高速AFM、価格の出し方を、主なメーカーの公式資料でまとめました。

2026年11月1日更新

この記事の答え

原子間力顕微鏡（AFM）は、試料の表面を細い探針でなぞり、ナノメートルの凹凸や物性を測る顕微鏡です。載せる試料と測り方で、汎用型・大型試料型・高速AFM・超高真空低温SPMの4つに分かれます。選ぶときは「試料の大きさ」「走査範囲」「測る環境」の3つを先に決めます。値段はどのメーカーも公式に出しておらず、見積もりで決まります。

原子間力顕微鏡とは

原子間力顕微鏡は、細い探針（プローブ）で試料の表面をなぞり、三次元の形や電気・硬さなどの性質を高い倍率で測る顕微鏡です。走査型プローブ顕微鏡（SPM）の一つで、英語の頭文字からAFMと呼びます。高さを数字で持つので、凹凸や段差を数字で比べられます。

比較ページには、メーカーが自社で作るか、海外メーカーの日本法人が自社グループの製品として売るAFMを、各社の代表の型の単位で載せています。カンチレバーだけの販売や受託測定は除いています。

4つの種類

汎用型（小型試料）は、小さな試料を台に載せて測ります。例は島津製作所のSPM-Nanoa・SPM-9700HT Plus、パーク・システムズのPark NX10、堀場製作所のAFM Ramanです
大型試料・ウェハー型は、150〜200mmの試料を切らずに載せます。例はパーク・システムズのPark NX20、オックスフォード・インストゥルメンツのJupiter Discovery、ブルカーのDimension Nexusです
高速AFMは、溶液中の動きを動画で撮ります。例は生体分子計測研究所のSS-NEX・MS-NEX、Cypher VRS1250、Dimension FastScanです
超高真空・低温SPMは、5〜6Kまで冷やして原子を観ます。例はユニソクのUSM1200・USM1800です