可視分光エリプソメーター Smart SE

可視分光エリプソメーター Smart SEは、決まった膜を手早く測る生産管理に使う人向けです。可視分光エリプソメーター Smart SEは、液晶で変調する可視域の機種で、ボタン操作で1nm〜15μmの膜を測れます。

可視分光エリプソメーター Smart SEは、カメラで表面と測定位置を見ながら合わせられます。入射角は標準で70°固定なので、決まった膜の管理に向きます。

可視分光エリプソメーター Smart SEの方式は液晶変調方式、波長範囲は450nm〜1000nmです。入射角は70°固定（45°〜90°で5°刻みに変更可）、スポット・分解能は最小75μm×150μmです。

決まった膜を手早く測る生産管理なら可視分光エリプソメーター Smart SE、ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見るならアルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aです。可視分光エリプソメーター Smart SEの方式は液晶変調方式、波長範囲は450nm〜1000nmです。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。

可視分光エリプソメーター Smart SEの寸法・質量は840×230×340mm（本体）⁠で⁠す⁠。フォトニックラティスの高速エリプソメーター ME-210の寸法・質量は650×650×1740mm、約200kgです。

可視分光エリプソメーター Smart SEの試料は直径200mmまでです。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの試料は直径300mmまでです。

可視分光エリプソメーター Smart SEの測定膜厚は1nm〜15μmです。大塚電子の分光エリプソメーター FE-5000の測定膜厚は0.1nm〜1μmです。

決まった膜を手早く測る生産管理なら可視分光エリプソメーター Smart SE、レジストのn・kを波長ごとに評価する開発なら大塚電子の分光エリプソメーター FE-5000です。可視分光エリプソメーター Smart SEの方式は液晶変調方式、波長範囲は450nm〜1000nmです。大塚電子の分光エリプソメーター FE-5000の方式は回転検光子法、波長範囲は300nm〜800nmです。

あります。堀場製作所のエリプソメーターには、可視分光エリプソメーター Smart SEのほかに分光エリプソメーター UVISEL Plus（方式は位相変調方式）があります。

可視分光エリプソメーター Smart SEは株式会社堀場製作所の製品です。登記上の本店は〒601-8305 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地。堀場製作所の主な製品分野は原子間力顕微鏡・粉塵計・オゾン濃度計・COD計です。