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電子ビーム描画装置スポットビーム型

電子ビーム描画装置 JBX-8100FS

日本電子株式会社

エントリーのG1から200kVのG3まで、同じ機種で3つの版を選べるスポットビーム機です。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
加速電圧100kV
ビーム方式
スポットビーム型
向いている所
極微細加工から少・中量生産
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比較表での位置

電子ビーム描画装置 JBX-8100FSは、電子ビーム描画装置のメーカー5社比較⁠のビーム方式「スポットビーム型」の5製品の1つとして載っています。

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電子ビーム描画装置 JBX-8100FS​の強みと方式

エントリーのG1から200kVのG3まで、同じ機種で3つの版を選べるスポットビーム機です。高分解能と高速の2つのモードを切り替え、極微細加工から少・中量生産まで使えます。通常時の消費電力は3kVAです。

向いている所極微細加工から少・中量生産

ビーム方式：スポットビーム型

一本のビームを点まで絞り、線をなぞって描く型です。細かいパターンを描けるので、研究開発や少量の生産に向きます。日本電子・エリオニクス・クレステックがこの型を作っています。

電子ビーム描画装置 JBX-8100FS​の仕様

ビーム方式
スポットビーム型
ビーム方式
スポットビーム、ベクタースキャン
加速電圧
100kV、上位の型は最大200kV
最小ビーム径
—公式資料で確認できず
精度
重ね合わせ・接合とも≦±9nm、上位の型は≦±8nm
基板サイズ
最大200mmウエハー、6インチマスク、微小サンプル片
価格
—公式資料で確認できず
フィールドサイズ
最大1,000μm角、上位の型は最大2,000μm角
ビーム電流
5×10^-12〜2×10^-7A
走査速度
最大125MHz
消費電力
通常時3kVA
主な用途
極微細加工から少・中量生産

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

電子ビーム描画装置 JBX-8100FS日本電子株式会社電子ビーム描画装置 ELS-BODEN株式会社エリオニクス電子ビーム描画装置 ELS-ORCA株式会社エリオニクス
ビーム方式スポットビーム型スポットビーム型スポットビーム型
ビーム方式スポットビーム、ベクタースキャン細く絞ったビームで描く細く絞ったビームで描く
加速電圧100kV、上位の型は最大200kV50kV・100kV・125kV・150kV1〜30kV、オプションで1〜50kV
最小ビーム径—公式資料で確認できず最小1.5nm2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）
精度重ね合わせ・接合とも≦±9nm、上位の型は≦±8nm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
基板サイズ最大200mmウエハー、6インチマスク、微小サンプル片8インチ・12インチのウェハー8インチのウェハー
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
フィールドサイズ最大1,000μm角、上位の型は最大2,000μm角100μm角〜3000μm角（最大はオプション）最大1000μm角
ビーム電流5×10^-12〜2×10^-7A5pA〜800nA5pA〜80nA
走査速度最大125MHz標準100MHz、オプションで最大200MHz100MHz
消費電力通常時3kVA—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な用途極微細加工から少・中量生産高精細描画から大電流の高速描画研究開発の入門機

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電子ビーム描画装置 JBX-8100FS​のよくある質問

Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSはどんな人に向いている？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSは、極微細加工から少・中量生産に使う人向けです。電子ビーム描画装置 JBX-8100FSは、エントリーのG1から200kVのG3まで、同じ機種で3つの版を選べるスポットビーム機です。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの強みは？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSは、高分解能と高速の2つのモードを切り替え、極微細加工から少・中量生産まで使えます。通常時の消費電力は3kVAです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSはどんな方式？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのビーム方式はスポットビーム型です。一本のビームを点まで絞り、線をなぞって描く型です。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの主な仕様は？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの加速電圧は100kV、上位の型は最大200kV、ビーム方式はスポットビーム、ベクタースキャンです。精度は重ね合わせ・接合とも≦±9nm、上位の型は≦±8nm、基板サイズは最大200mmウエハー、6インチマスク、微小サンプル片です。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSと電子ビーム描画装置 ELS-BODENはどっちがいい？
極微細加工から少・中量生産なら電子ビーム描画装置 JBX-8100FS、小片から12インチまでの研究開発ならエリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENです。電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの加速電圧は100kV、上位の型は最大200kV、ビーム方式はスポットビーム、ベクタースキャンです。エリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENの加速電圧は50kV・100kV・125kV・150kV、最小ビーム径は最小1.5nmです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのフィールドサイズは？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのフィールドサイズは最大1,000μm角、上位の型は最大2,000μm角です。エリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENのフィールドサイズは100μm角〜3000μm角（最大はオプション）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのビーム電流は？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのビーム電流は5×10^-12〜2×10^-7Aです。エリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENのビーム電流は5pA〜800nAです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSと電子ビーム描画装置 ELS-ORCAはどっちがいい？
極微細加工から少・中量生産なら電子ビーム描画装置 JBX-8100FS、研究開発の入門機ならエリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-ORCAです。電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの加速電圧は100kV、上位の型は最大200kV、ビーム方式はスポットビーム、ベクタースキャンです。エリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの加速電圧は1〜30kV、オプションで1〜50kV、最小ビーム径は2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのほかに日本電子の電子ビーム描画装置はある？
あります。日本電子の電子ビーム描画装置には、電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのほかに電子ビーム描画装置 JBX-3200MVS（加速電圧は50kV）があります。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-8100FSはどこのメーカー？
電子ビーム描画装置 JBX-8100FSは日本電子株式会社の製品です。登記上の本店は〒196-0021 東京都昭島市武蔵野3丁目1番2号。日本電子の主な製品分野は3Dプリンタ・電子ビーム描画装置・電子顕微鏡・質量分析計です。

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    出典
    1. 日本電子株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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