口コミを書く
イメージ

電子ビーム描画装置スポットビーム型

電子ビーム描画装置 ELS-ORCA

株式会社エリオニクス

研究開発向けのエントリーモデルで、加速電圧30kVを標準にして必要なオプションを足していく機種です。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
加速電圧1〜30kV
ビーム方式
スポットビーム型
向いている所
研究開発の入門機
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

電子ビーム描画装置 ELS-ORCAは、電子ビーム描画装置のメーカー5社比較⁠のビーム方式「スポットビーム型」の5製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 5製品同じビーム方式
  • 0製品公開価格あり
比較表を見る

電子ビーム描画装置 ELS-ORCA​の強みと方式

研究開発向けのエントリーモデルで、加速電圧30kVを標準にして必要なオプションを足していく機種です。予算とパターンに合わせて50kVにも広げられます。描画エリアは最大150mm x 150mmです。

向いている所研究開発の入門機

ビーム方式：スポットビーム型

一本のビームを点まで絞り、線をなぞって描く型です。細かいパターンを描けるので、研究開発や少量の生産に向きます。日本電子・エリオニクス・クレステックがこの型を作っています。

電子ビーム描画装置 ELS-ORCA​の仕様

ビーム方式
スポットビーム型
ビーム方式
細く絞ったビームで描く
加速電圧
1〜30kV、オプションで1〜50kV
最小ビーム径
2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）
精度
—公式資料で確認できず
基板サイズ
8インチのウェハー
価格
—公式資料で確認できず
フィールドサイズ
最大1000μm角
ビーム電流
5pA〜80nA
走査速度
100MHz
消費電力
—公式資料で確認できず
主な用途
研究開発の入門機

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

電子ビーム描画装置 ELS-ORCA株式会社エリオニクス電子線描画装置 CABL-AP株式会社クレステック電子線描画装置 CABL-UH株式会社クレステック
ビーム方式スポットビーム型スポットビーム型スポットビーム型
ビーム方式細く絞ったビームで描くポイントビームポイントビーム
加速電圧1〜30kV、オプションで1〜50kV5〜50kV25〜130kV
最小ビーム径2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）研究開発用2.0nm、生産用4.0nm1.6nm
精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
基板サイズ8インチのウェハー4・6・8インチ4・6・8インチ
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
フィールドサイズ最大1000μm角研究開発用は1000μm角まで、生産用は1500μm角まで30μm角〜1000μm角
ビーム電流5pA〜80nA—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
走査速度100MHz—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
消費電力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な用途研究開発の入門機研究開発、DFB-LDの生産より微細な加工

電子ビーム描画装置の9製品を比較表で見る

電子ビーム描画装置 ELS-ORCA​のよくある質問

Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAはどんな人に向いている？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAは、研究開発の入門機に使う人向けです。電子ビーム描画装置 ELS-ORCAは、研究開発向けのエントリーモデルで、加速電圧30kVを標準にして必要なオプションを足していく機種です。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの強みは？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAは、予算とパターンに合わせて50kVにも広げられます。描画エリアは最大150mm x 150mmです。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAはどんな方式？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのビーム方式はスポットビーム型です。一本のビームを点まで絞り、線をなぞって描く型です。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの主な仕様は？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの加速電圧は1〜30kV、オプションで1〜50kV、最小ビーム径は2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）⁠で⁠す⁠。ビーム方式は細く絞ったビームで描く、基板サイズは8インチのウェハーです。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAと電子線描画装置 CABL-APはどっちがいい？
研究開発の入門機なら電子ビーム描画装置 ELS-ORCA、研究開発とDFB-LDの生産ならクレステックの電子線描画装置 CABL-APです。電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの加速電圧は1〜30kV、オプションで1〜50kV、最小ビーム径は2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）⁠で⁠す⁠。クレステックの電子線描画装置 CABL-APの加速電圧は5〜50kV、最小ビーム径は研究開発用2.0nm、生産用4.0nmです。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのフィールドサイズは？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのフィールドサイズは最大1000μm角です。クレステックの電子線描画装置 CABL-APのフィールドサイズは研究開発用は1000μm角まで、生産用は1500μm角までです。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのビーム電流は？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのビーム電流は5pA〜80nAです。日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのビーム電流は5×10^-12〜2×10^-7Aです。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAと電子線描画装置 CABL-UHはどっちがいい？
研究開発の入門機なら電子ビーム描画装置 ELS-ORCA、高い加速電圧で微細に描くならクレステックの電子線描画装置 CABL-UHです。電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの加速電圧は1〜30kV、オプションで1〜50kV、最小ビーム径は2.0nm、1.6nm（加速電圧で異なる）⁠で⁠す⁠。クレステックの電子線描画装置 CABL-UHの加速電圧は25〜130kV、最小ビーム径は1.6nmです。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのほかにエリオニクスの電子ビーム描画装置はある？
あります。エリオニクスの電子ビーム描画装置には、電子ビーム描画装置 ELS-ORCAのほかに電子ビーム描画装置 ELS-BODEN（加速電圧は50kV・100kV・125kV・150kV）があります。
Q.電子ビーム描画装置 ELS-ORCAはどこのメーカー？
電子ビーム描画装置 ELS-ORCAは株式会社エリオニクスの製品です。電子ビーム描画装置やナノインデンテーションテスターを作っています。

口コミ

電子ビーム描画装置 ELS-ORCAの口コミは、まだありません。
使ったことがある方は、満足度・コスト・納期などを☆で教えてください。製品を選ぶ人の参考になります。

    最初の口コミを書く

    口コミの掲載基準・削除のご依頼

    同じ分類のほかの型番

    イメージ
    電子ビーム描画装置

    電子線描画装置 CABL-AP

    株式会社クレステック

    研究開発用と、通信用半導体レーザーDFB-LDの生産用のモデルがある50kV機です。

    加速電圧5〜50kV

    比較表で見る

    同じメーカーのほかの製品株式会社エリオニクス

    出典
    1. 株式会社エリオニクス 公式
    比較記事にしてほしい製品の依頼はこちら👉