イメージ電子ビーム描画装置可変成型電子
株式会社ニューフレアテクノロジー
可変成型電子ビームマスク描画装置 EBM-9500PLUS
株式会社ビームの
加速電圧
イメージ比較表での位置
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSは、
- 5社掲載社数
- 9製品比較表の製品
- 2製品同じ
ビーム方式 - 0製品公開価格あり
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの強みと方式
ステップ＆リピートで
向いている所
ビーム方式：可変成形型
穴を
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの仕様
- ビーム方式
- 可変成形型
- ビーム方式
- 可変成形
ビーム、 ステップ＆リピート - 加速電圧
- 50kV
- 最小ビーム径
- —公式資料で
確認できず - 精度
- つなぎ≦±3.5nm、
重ね合わせ≦±5nm - 基板サイズ
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - フィールドサイズ
- —公式資料で
確認できず - ビーム電流
- —公式資料で
確認できず - 走査速度
- —公式資料で
確認できず - 消費電力
- —公式資料で
確認できず - 主な用途
- 32nm〜28nm
ノードの マスク・レチクル
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 電子ビーム描画装置 JBX-3200MVS | 可変成型電子 | 電子ビーム描画装置 ELS-BODEN株式会社 | |
|---|---|---|---|
| ビーム方式 | 可変成形型 | 可変成形型 | スポットビーム型 |
| ビーム方式 | 可変成形 | 可変成型 | 細く |
| 加速電圧 | 50kV | 50kV | 50kV・ |
| 最小ビーム径 | —公式資料で | —公式資料で | 最小1.5nm |
| 精度 | つなぎ≦±3.5nm、 | 位置精度 | —公式資料で |
| 基板サイズ | —公式資料で | 6inch | 8インチ・ |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| フィールドサイズ | —公式資料で | —公式資料で | 100μm角 |
| ビーム電流 | —公式資料で | 電流密度 | 5pA〜800nA |
| 走査速度 | —公式資料で | —公式資料で | 標準 |
| 消費電力 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 主な用途 | 32nm〜28nm | 7nm+・ | 高精細描画から |
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSのよくある質問
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSはどんな人に向いている？
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSは、32nm〜28nmノードのマスクに使う人向けです。電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSは、ステップ＆リピートで止めて描く可変成形機で、32nm〜28nmノードのマスクとレチクルに使います。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの強みは？
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSは、ドーズ量の変調や重ね描きを組み合わせて、レガシーマスクの補正に合わせられます。つなぎ精度は≦±3.5nm、重ね合わせ精度は≦±5nmです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSはどんな方式？
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSのビーム方式は可変成形型です。穴を通してビームを四角などの形に変え、面で焼いていく型です。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの主な仕様は？
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの加速電圧は50kV、ビーム方式は可変成形ビーム、ステップ＆リピートです。精度はつなぎ≦±3.5nm、重ね合わせ≦±5nm、主な用途は32nm〜28nmノードのマスク・レチクルです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSと可変成型電子ビームマスク描画装置 EBM-9500PLUSはどっちがいい？
32nm〜28nmノードのマスクなら電子ビーム描画装置 JBX-3200MVS、7nm+・5nmノードのマスク量産ならニューフレアテクノロジーの可変成型電子ビームマスク描画装置 EBM-9500PLUSです。電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの加速電圧は50kV、ビーム方式は可変成形ビーム、ステップ＆リピートです。ニューフレアテクノロジーの可変成型電子ビームマスク描画装置 EBM-9500PLUSの加速電圧は50kV、ビーム方式は可変成型ビームです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSと電子ビーム描画装置 ELS-BODENはどっちがいい？
32nm〜28nmノードのマスクなら電子ビーム描画装置 JBX-3200MVS、小片から12インチまでの研究開発ならエリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENです。電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの加速電圧は50kV、ビーム方式は可変成形ビーム、ステップ＆リピートです。エリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENの加速電圧は50kV・100kV・125kV・150kV、最小ビーム径は最小1.5nmです。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSのほかに日本電子の電子ビーム描画装置はある？
あります。日本電子の電子ビーム描画装置には、電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSのほかに電子ビーム描画装置 JBX-8100FS（加速電圧は100kV、上位の型は最大200kV）があります。
Q.電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSはどこのメーカー？
電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSは日本電子株式会社の製品です。登記上の本店は〒196-0021 東京都昭島市武蔵野3丁目1番2号。日本電子の主な製品分野は3Dプリンタ・電子ビーム描画装置・電子顕微鏡・質量分析計です。
同じ分類のほかの型番
イメージイメージイメージ電子ビーム描画装置エリオニクス
電子ビーム描画装置 ELS-ORCA
株式会社研究開発向けの
加速電圧
イメージイメージイメージ同じメーカーのほかの製品日本電子株式会社
イメージイメージ
イメージイメージイメージ
イメージ