電子ビーム描画装置のメーカー5社比較【2026年】

載せた9製品のうち、公式に価格を出している製品はありません。型と構成を決めてメーカーに見積を取ります。オプションで金額が動くので、加速電圧・基板サイズ・搬送機構を先に決めておきます。

マルチビーム型・可変成形型・スポットビーム型・SEM後付け型の4つに分けました。量産のマスクはマルチビームと可変成形、研究開発はスポットで描きます。手元のSEMで試すならサンユー電子のSPG-724のような後付けの装置があります。

可変成形はビームを四角などの形に変えて面で描くので、マスクの量産に向きます。スポットは点まで絞って線をなぞるので、細かさを優先する研究開発に向きます。日本電子はJBX-3200MVSとJBX-8100FSで両方を作っています。

マスク描画は、露光装置で使うフォトマスクの原版を描きます。直接描画は、ウェハーや基板のレジストに回路や構造をそのまま描きます。MBM-4000はマスク専用で、ELS-BODENやCABL-UHはウェハーに直接描けます。

ステッパーは光でマスクのパターンをまとめて焼き付けます。電子ビーム描画装置はマスクなしで電子ビームが直接描きます。量産の回路形成はステッパー、マスクの原版や試作は電子ビームという使い分けです。

レジストの中で電子が広がりにくくなり、細かく、厚い膜でも垂直に描きやすくなります。CABL-UHは130kVで前方散乱が少なく、JBX-8100FSは10μm厚のレジストで200kVにするとテーパーが減るデータを公開しています。

同じではありません。ビーム径は電子ビームの細さで、線幅はレジストに描けた線の細さです。ELS-BODENは最小ビーム径1.5nmで、公開例は線幅3nmです。

ステージを動かさずに一度に描ける範囲です。広いほどつなぎが減ります。CABL-UHは30μm角から1000μm角まで選べ、JBX-8100FSのG2・G3は最大2,000μm角です。

載せた中ではELS-BODENの12インチの型が使えます。クレステックのCABL-UH・CABL-APとELS-ORCAは8インチまで、JBX-8100FSは最大200mmウエハーです。

手元のSEMがあれば、サンユー電子のSPG-724のようなパターン発生装置を付けて描けます。専用機ほどの専門知識を求めず、市販のCADで図形を作れます。描ける細さや精度は付けるSEMで変わります。

電源と設置場所を先に見ます。JBX-8100FSの通常時の消費電力は3kVAです。外部の磁場の変動は電子線の揺れにつながるので、置く部屋の環境もメーカーと確かめます。

クレステックは見学とデモ描画を随時受けています。ほかの会社も、自分のパターンで試せるかを見積の前に問い合わせて確かめます。