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電子ビーム描画装置スポットビーム型

電子線描画装置 CABL-UH

株式会社クレステック

130kVの高い加速電圧で、レジストの中で電子が広がりにくい機種です。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
加速電圧25〜130kV
ビーム方式
スポットビーム型
向いている所
高い加速電圧で微細に描く
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比較表での位置

電子線描画装置 CABL-UHは、電子ビーム描画装置のメーカー5社比較⁠のビーム方式「スポットビーム型」の5製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 5製品同じビーム方式
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電子線描画装置 CABL-UH​の強みと方式

130kVの高い加速電圧で、レジストの中で電子が広がりにくい機種です。放電がほとんど起きない鏡筒を新しく作り、長時間の安定稼動につなげています。予算に合わせて、加速電圧の低い型も選べます。

向いている所高い加速電圧で微細に描く

ビーム方式：スポットビーム型

一本のビームを点まで絞り、線をなぞって描く型です。細かいパターンを描けるので、研究開発や少量の生産に向きます。日本電子・エリオニクス・クレステックがこの型を作っています。

電子線描画装置 CABL-UH​の仕様

ビーム方式
スポットビーム型
ビーム方式
ポイントビーム
加速電圧
25〜130kV
最小ビーム径
1.6nm
精度
—公式資料で確認できず
基板サイズ
4・6・8インチ
価格
—公式資料で確認できず
フィールドサイズ
30μm角〜1000μm角
ビーム電流
—公式資料で確認できず
走査速度
—公式資料で確認できず
消費電力
—公式資料で確認できず
主な用途
より微細な加工

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

電子線描画装置 CABL-UH株式会社クレステック電子ビーム描画装置 JBX-8100FS日本電子株式会社電子ビーム描画装置 ELS-BODEN株式会社エリオニクス
ビーム方式スポットビーム型スポットビーム型スポットビーム型
ビーム方式ポイントビームスポットビーム、ベクタースキャン細く絞ったビームで描く
加速電圧25〜130kV100kV、上位の型は最大200kV50kV・100kV・125kV・150kV
最小ビーム径1.6nm—公式資料で確認できず最小1.5nm
精度—公式資料で確認できず重ね合わせ・接合とも≦±9nm、上位の型は≦±8nm—公式資料で確認できず
基板サイズ4・6・8インチ最大200mmウエハー、6インチマスク、微小サンプル片8インチ・12インチのウェハー
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
フィールドサイズ30μm角〜1000μm角最大1,000μm角、上位の型は最大2,000μm角100μm角〜3000μm角（最大はオプション）
ビーム電流—公式資料で確認できず5×10^-12〜2×10^-7A5pA〜800nA
走査速度—公式資料で確認できず最大125MHz標準100MHz、オプションで最大200MHz
消費電力—公式資料で確認できず通常時3kVA—公式資料で確認できず
主な用途より微細な加工極微細加工から少・中量生産高精細描画から大電流の高速描画

電子ビーム描画装置の9製品を比較表で見る

電子線描画装置 CABL-UH​のよくある質問

Q.電子線描画装置 CABL-UHはどんな人に向いている？
電子線描画装置 CABL-UHは、高い加速電圧で微細に描く人向けです。電子線描画装置 CABL-UHは、130kVの高い加速電圧で、レジストの中で電子が広がりにくい機種です。
Q.電子線描画装置 CABL-UHの強みは？
電子線描画装置 CABL-UHは、放電がほとんど起きない鏡筒を新しく作り、長時間の安定稼動につなげています。予算に合わせて、加速電圧の低い型も選べます。
Q.電子線描画装置 CABL-UHはどんな方式？
電子線描画装置 CABL-UHのビーム方式はスポットビーム型です。一本のビームを点まで絞り、線をなぞって描く型です。
Q.電子線描画装置 CABL-UHの主な仕様は？
電子線描画装置 CABL-UHの加速電圧は25〜130kV、最小ビーム径は1.6nmです。ビーム方式はポイントビーム、基板サイズは4・6・8インチです。
Q.電子線描画装置 CABL-UHと電子ビーム描画装置 JBX-8100FSはどっちがいい？
高い加速電圧で微細に描くなら電子線描画装置 CABL-UH、極微細加工から少・中量生産なら日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-8100FSです。電子線描画装置 CABL-UHの加速電圧は25〜130kV、最小ビーム径は1.6nmです。日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの加速電圧は100kV、上位の型は最大200kV、ビーム方式はスポットビーム、ベクタースキャンです。
Q.電子線描画装置 CABL-UHのフィールドサイズは？
電子線描画装置 CABL-UHのフィールドサイズは30μm角〜1000μm角です。日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-8100FSのフィールドサイズは最大1,000μm角、上位の型は最大2,000μm角です。
Q.電子線描画装置 CABL-UHの主な用途は？
電子線描画装置 CABL-UHの主な用途はより微細な加工です。日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-8100FSの主な用途は極微細加工から少・中量生産です。
Q.電子線描画装置 CABL-UHと電子ビーム描画装置 ELS-BODENはどっちがいい？
高い加速電圧で微細に描くなら電子線描画装置 CABL-UH、小片から12インチまでの研究開発ならエリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENです。電子線描画装置 CABL-UHの加速電圧は25〜130kV、最小ビーム径は1.6nmです。エリオニクスの電子ビーム描画装置 ELS-BODENの加速電圧は50kV・100kV・125kV・150kV、最小ビーム径は最小1.5nmです。
Q.電子線描画装置 CABL-UHのほかにクレステックの電子ビーム描画装置はある？
あります。クレステックの電子ビーム描画装置には、電子線描画装置 CABL-UHのほかに電子線描画装置 CABL-AP（加速電圧は5〜50kV）があります。
Q.電子線描画装置 CABL-UHはどこのメーカー？
電子線描画装置 CABL-UHは株式会社クレステックの製品です。東京都八王子市に本社と工場を置く、ポイントビーム型の電子線描画装置の専用メーカーです。

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    1. 株式会社クレステック 公式
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