イメージイメージ電子ビーム描画装置
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724
サンユー電子手元の
- 価格
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（見積もり） - ビーム方式
- SEM後付け型
- 向いている所
- 手元の
SEMで 描画を 始める
比較表での位置
電子線描画用
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電子線描画用パターン発生装置 SPG-724の強みと方式
手元の
向いている所手元の
ビーム方式：SEM後付け型
手元の
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724の仕様
- ビーム方式
- SEM後付け型
- ビーム方式
- SEMに
取り付ける パターン発生装置 - 加速電圧
- —公式資料で
確認できず - 最小ビーム径
- —公式資料で
確認できず - 精度
- —公式資料で
確認できず - 基板サイズ
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - フィールドサイズ
- 50μm角
〜500μm角、 ブロックスキャン で2,500μm角 - ビーム電流
- —公式資料で
確認できず - 走査速度
- 0.5〜10,000μ
sec/ピクセル - 消費電力
- —公式資料で
確認できず - 主な用途
- 手元の
SEMで描画
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 電子線描画用 | マルチ電子 | 電子ビーム描画装置 JBX-3200MVS | |
|---|---|---|---|
| ビーム方式 | SEM後付け型 | マルチビーム型 | 可変成形型 |
| ビーム方式 | SEMに | マルチビーム | 可変成形 |
| 加速電圧 | —公式資料で | —公式資料で | 50kV |
| 最小ビーム径 | —公式資料で | 10nm | —公式資料で |
| 精度 | —公式資料で | 位置精度 | つなぎ≦±3.5nm、 |
| 基板サイズ | —公式資料で | 6inch | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| フィールドサイズ | 50μm角 | —公式資料で | —公式資料で |
| ビーム電流 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 走査速度 | 0.5〜10,000μ | —公式資料で | —公式資料で |
| 消費電力 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 主な用途 | 手元の | 14A | 32nm〜28nm |
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724のよくある質問
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724はどんな人に向いている？
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724は、手元のSEMで描画を始める人向けです。電子線描画用パターン発生装置 SPG-724は、手元のSEMに取り付けて描画に使う装置で、専用機を入れずに始められます。
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724の強みは？
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724は、市販のCADで図形を作れて、専用機ほどの専門知識を求めません。ブロックスキャンなら2,500μm角を一括で露光できます。
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724はどんな方式？
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724のビーム方式はSEM後付け型です。手元の走査電子顕微鏡にパターン発生装置を付けて描く型です。
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724の主な仕様は？
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724のビーム方式はSEMに取り付けるパターン発生装置、フィールドサイズは50μm角〜500μm角、ブロックスキャンで2,500μm角です。走査速度は0.5〜10,000μsec/ピクセル、主な用途は手元のSEMで描画です。
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724とマルチ電子ビームマスク描画装置 MBM-4000はどっちがいい？
手元のSEMで描画を始めるなら電子線描画用パターン発生装置 SPG-724、14Aノードの先端マスク量産ならニューフレアテクノロジーのマルチ電子ビームマスク描画装置 MBM-4000です。電子線描画用パターン発生装置 SPG-724のビーム方式はSEMに取り付けるパターン発生装置、フィールドサイズは50μm角〜500μm角、ブロックスキャンで2,500μm角です。ニューフレアテクノロジーのマルチ電子ビームマスク描画装置 MBM-4000の最小ビーム径は10nmビーム、ビーム方式はマルチビームです。
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724と電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSはどっちがいい？
手元のSEMで描画を始めるなら電子線描画用パターン発生装置 SPG-724、32nm〜28nmノードのマスクなら日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSです。電子線描画用パターン発生装置 SPG-724のビーム方式はSEMに取り付けるパターン発生装置、フィールドサイズは50μm角〜500μm角、ブロックスキャンで2,500μm角です。日本電子の電子ビーム描画装置 JBX-3200MVSの加速電圧は50kV、ビーム方式は可変成形ビーム、ステップ＆リピートです。
Q.電子線描画用パターン発生装置 SPG-724はどこのメーカー？
電子線描画用パターン発生装置 SPG-724はサンユー電子株式会社の製品です。登記上の本店は〒169-0073 東京都新宿区百人町1丁目22番6号。サンユー電子の主な製品分野はスパッタ装置・電子ビーム描画装置です。
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