UVナノインプリント装置（一括転写）のメーカー6社比較【2026年】

6製品とも、公式に価格を出していません。卓上のウェルテックのCI-80や、実験用のリソテックジャパンのLTNIP-500から、全自動の量産機のタツモのDYADまで幅があります。見積もりのときは、用途・基板サイズ・樹脂・型を伝えます。量産機は、搬入と設置の工事も合わせて聞きます。材料での試作を頼めるかも、確かめます。

研究用か量産用かと、基板サイズが違います。ウェルテックのCI-80は100×100mmの卓上機、リソテックジャパンのLTNIP-500は4〜6インチの実験機です。芝浦機械のST50-UVは4インチ全面、SCIVAXのRubiQ RD-200は直径200mmまでです。イーヴィグループジャパンのEVG 7200は75〜200mm、タツモのDYADは200mmと300mmです。

タツモのDYADは、200mmと300mmのウエハーを使えます。SCIVAXのRubiQ RD-200は直径200mmまで、イーヴィグループジャパンのEVG 7200は75〜200mmです。リソテックジャパンのLTNIP-500は4〜6インチ、芝浦機械のST50-UVは4インチまで（オプションで6インチ）で⁠す⁠。ウェルテックのCI-80は100×100mmです。今の基板と将来の基板の両方で選びます。

SCIVAXのRubiQ RD-200は、365nm、400mW/cm²のUV-LEDを備えます。ウェルテックのCI-80は、365nm、50mW/cm²を上下2面から当てます。リソテックジャパンのLTNIP-500は0.5mW/cm²です。タツモのDYADは365nmのUV-LEDです。高いタクトを求めるなら、照度の高い機種から見ます。樹脂の硬化の条件も、合わせて確かめます。

芝浦機械のST50-UVは最大50kN、タツモのDYADは0.90MPa以下、SCIVAXのRubiQ RD-200は最大0.7MPaです。RD-200は、FLAN空気加圧で型を押し当てます。ウェルテックのCI-80は、低真空のバッチ式です。加圧の単位は機種で違うので、型の面積に合わせて読み替えます。樹脂と型を伝えて、必要な加圧を聞きます。

材料や型の相性を試すなら、ウェルテックのCI-80やリソテックジャパンのLTNIP-500で足ります。量産まで見るなら、塗布・乾燥・アライメント・貼り合わせ・剥離を1台で自動で回すタツモのDYADです。研究開発から生産へ広げるなら、イーヴィグループジャパンのEVG 7200が半自動の研究開発モードとカセット間の自動搬送を備えます。広げる道筋で選びます。

公式に処理量を出しているのは、タツモのDYADの20枚/時間（プロセスによる）⁠で⁠す⁠。SCIVAXのRubiQ RD-200は、高いタクトを求める工程に向くとしています。ほかの4製品は、処理量を公式に出していません。量産の計画があるなら、樹脂と型を決めてから実際のタクトを各社に聞きます。試作の結果から、必要な台数を見積もります。

タツモのDYADは、オプションで貼り合わせ精度±1μm以下です。イーヴィグループジャパンのEVG 7200は、上面アライメントをオプションで足せます。ほかの4製品は、位置合わせの仕様を公式に出していません。デバイスに重ねるなら、この2製品から見ます。重ねる位置の精度が必要なら、ステップ＆リピート式も比べます。

イーヴィグループジャパンのEVG 7200は、解像度40nm以下（プロセスとテンプレートによる）で⁠す⁠。ほかの5製品は、解像度を公式に出していません。ナノインプリントは型の形を写すので、解像度は型の細かさで決まります。型を作るメーカーと、写したい形の大きさを先に決めます。樹脂と型を伝えて、試作で確かめます。

このページには、イーヴィグループジャパン・リソテックジャパン・SCIVAX・芝浦機械・タツモ・ウェルテックの6社を載せています。全自動の量産ならタツモ、研究開発から生産まで広げるならイーヴィグループジャパン、200mmのパイロット生産ならSCIVAXです。手元で試すならウェルテックかリソテックジャパン、4インチ全面なら芝浦機械です。