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ナノインプリント装置UV一括式

実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500

リソテックジャパン株式会社

樹脂やプロセスの評価に使う実験機

価格
公開価格なし（見積もり）
転写のしかた
UV一括式
向いている所
樹脂とプロセスの評価
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比較表での位置

実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500は、ナノインプリント装置のメーカー10社比較⁠の転写のしかた「UV一括式」の6製品の1つとして載っています。

  • 10社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 6製品同じ転写のしかた
  • 0製品公開価格あり
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実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500​の強みと方式

プレスしながらUVを当てる、実験用の簡易な装置です。ウェハは4〜6インチ、モールドは25〜40mm、UV照度は0.5mW/cm²です。オプションでHP機能と脱気ユニットを足せます。

向いている所樹脂とプロセスの評価

転写のしかた：UV一括式

樹脂に型を押し当て、UVで固めて基板の全面を一度に写す型です。熱をかけずに進められるので、樹脂の熱変形を避けたい工程で使います。卓上の実験機から全自動の量産機まであります。

実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500​の仕様

転写のしかた
UV一括式
方式
プレスしながらUV照射
基板・ワーク
4〜6インチ（Si）
加圧
—公式資料で確認できず
温度
—公式資料で確認できず
UV光
0.5mW/cm²
位置合わせ
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
転写範囲
—公式資料で確認できず
モールド
25〜40mm
解像度
—公式資料で確認できず
処理量
—公式資料で確認できず
真空度
—公式資料で確認できず
プレス速度
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500リソテックジャパン株式会社SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200イーヴィグループジャパン株式会社小型UVナノインプリント装置 CI-80株式会社ウェルテック
転写のしかたUV一括式UV一括式UV一括式
方式プレスしながらUV照射SmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写）バッチ式低真空UV
基板・ワーク4〜6インチ（Si）75〜200mm100×100mm
加圧—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
温度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
UV光0.5mW/cm²—公式資料で確認できず365nm、50mW/cm²（上下2面）
位置合わせ—公式資料で確認できず上面アライメント（オプション）—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずW320×D290×H445mm（転写部）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
転写範囲—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず80×80mm
モールド25〜40mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解像度—公式資料で確認できず40nm以下（プロセスとテンプレートによる）—公式資料で確認できず
処理量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
真空度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず1000Pa
プレス速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず約30kg（転写部）
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ナノインプリント装置の15製品を比較表で見る

実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500​のよくある質問

Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500はどんな人に向いている？
実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500は、樹脂とプロセスの評価に使う人向けです。実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500は、プレスしながらUVを当てる、実験用の簡易な装置です。
Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の強みは？
実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500のウェハは4〜6インチ、モールドは25〜40mm、UV照度は0.5mW/cm²です。オプションでHP機能と脱気ユニットを足せます。
Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500はどんな方式？
実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の転写のしかたはUV一括式です。樹脂に型を押し当て、UVで固めて基板の全面を一度に写す型です。
Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の主な仕様は？
実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の方式はプレスしながらUV照射、基板・ワークは4〜6インチ（Si）⁠で⁠す⁠。UV光は0.5mW/cm²、モールドは25〜40mmです。
Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500とSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200はどっちがいい？
樹脂とプロセスの評価なら実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500、研究開発から生産まで同じ方式でならイーヴィグループジャパンのSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200です。実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の方式はプレスしながらUV照射、基板・ワークは4〜6インチ（Si）⁠で⁠す⁠。イーヴィグループジャパンのSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の方式はSmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写⁠）⁠、基板・ワークは75〜200mmです。
Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500と小型UVナノインプリント装置 CI-80はどっちがいい？
樹脂とプロセスの評価なら実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500、材料と金型の相性を手元で試すならウェルテックの小型UVナノインプリント装置 CI-80です。実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の方式はプレスしながらUV照射、基板・ワークは4〜6インチ（Si）⁠で⁠す⁠。ウェルテックの小型UVナノインプリント装置 CI-80の方式はバッチ式低真空UV、基板・ワークは100×100mmです。
Q.実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500はどこのメーカー？
実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500はリソテックジャパン株式会社の製品です。リソテックジャパンの主な製品分野はスピンコータ・ナノインプリント装置です。

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    1. リソテックジャパン株式会社 公式
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