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ナノインプリント装置UV一括式

SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200

イーヴィグループジャパン株式会社

SmartNILで全面を転写する全自動機

価格
公開価格なし（見積もり）
転写のしかた
UV一括式
向いている所
研究開発から生産まで同じ方式で
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比較表での位置

SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200は、ナノインプリント装置のメーカー10社比較⁠の転写のしかた「UV一括式」の6製品の1つとして載っています。

  • 10社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 6製品同じ転写のしかた
  • 0製品公開価格あり
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SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200​の強みと方式

繰り返し使えるポリマースタンプで基板全面を転写する装置です。基板は75〜200mmで、解像度は40nm以下です。カセット間の自動搬送と半自動の研究開発モードを備えます。

向いている所研究開発から生産まで同じ方式で

転写のしかた：UV一括式

樹脂に型を押し当て、UVで固めて基板の全面を一度に写す型です。熱をかけずに進められるので、樹脂の熱変形を避けたい工程で使います。卓上の実験機から全自動の量産機まであります。

SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200​の仕様

転写のしかた
UV一括式
方式
SmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写）
基板・ワーク
75〜200mm
加圧
—公式資料で確認できず
温度
—公式資料で確認できず
UV光
—公式資料で確認できず
位置合わせ
上面アライメント（オプション）
外形寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
転写範囲
—公式資料で確認できず
モールド
—公式資料で確認できず
解像度
40nm以下（プロセスとテンプレートによる）
処理量
—公式資料で確認できず
真空度
—公式資料で確認できず
プレス速度
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200イーヴィグループジャパン株式会社小型UVナノインプリント装置 CI-80株式会社ウェルテックR&D用ナノインプリント装置 RubiQ RD-200SCIVAX株式会社
転写のしかたUV一括式UV一括式UV一括式
方式SmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写）バッチ式低真空UVUV、UV＋熱アシスト（FLAN空気加圧）
基板・ワーク75〜200mm100×100mm直径200mmまで
加圧—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず最大0.7MPa
温度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず最高100℃
UV光—公式資料で確認できず365nm、50mW/cm²（上下2面）365nm、400mW/cm²
位置合わせ上面アライメント（オプション）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できずW320×D290×H445mm（転写部）W700×D980×H2,100mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
転写範囲—公式資料で確認できず80×80mm—公式資料で確認できず
モールド—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解像度40nm以下（プロセスとテンプレートによる）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
処理量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
真空度—公式資料で確認できず1000Pa—公式資料で確認できず
プレス速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず約30kg（転写部）—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ナノインプリント装置の15製品を比較表で見る

SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200​のよくある質問

Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200はどんな人に向いている？
SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200は、研究開発から生産まで同じ方式で使う人向けです。SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200は、繰り返し使えるポリマースタンプで基板全面を転写する装置です。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の強みは？
SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の基板は75〜200mmで、解像度は40nm以下です。カセット間の自動搬送と半自動の研究開発モードを備えます。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200はどんな方式？
SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の転写のしかたはUV一括式です。樹脂に型を押し当て、UVで固めて基板の全面を一度に写す型です。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の主な仕様は？
SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の方式はSmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写⁠）⁠、基板・ワークは75〜200mmです。位置合わせは上面アライメント（オプション）、解像度は40nm以下（プロセスとテンプレートによる）で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200と小型UVナノインプリント装置 CI-80はどっちがいい？
研究開発から生産まで同じ方式でならSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200、材料と金型の相性を手元で試すならウェルテックの小型UVナノインプリント装置 CI-80です。SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の方式はSmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写⁠）⁠、基板・ワークは75〜200mmです。ウェルテックの小型UVナノインプリント装置 CI-80の方式はバッチ式低真空UV、基板・ワークは100×100mmです。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200とR&D用ナノインプリント装置 RubiQ RD-200はどっちがいい？
研究開発から生産まで同じ方式でならSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200、直径200mmのパイロット生産ならSCIVAXのR&D用ナノインプリント装置 RubiQ RD-200です。SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の方式はSmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写⁠）⁠、基板・ワークは75〜200mmです。SCIVAXのR&D用ナノインプリント装置 RubiQ RD-200の方式はUV、UV＋熱アシスト（FLAN空気加圧）、基板・ワークは直径200mmまでです。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200のほかにイーヴィグループジャパンのナノインプリント装置はある？
あります。イーヴィグループジャパンのナノインプリント装置には、SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200のほかにステップ＆リピート装置 EVG 770 NT（方式はステップ＆リピート）があります。
Q.SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200はどこのメーカー？
SmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200はイーヴィグループジャパン株式会社の製品です。イーヴィグループジャパンの主な製品分野はナノインプリント装置です。

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