イメージイメージナノインプリント
全自動UVナノインプリント装置 DYAD
タツモSCIVAXと
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 転写の
しかた - UV一括式
- 向いている所
- 光学デバイスの
量産ライン
比較表での位置
全自動UV
- 10社掲載社数
- 15製品比較表の製品
- 6製品同じ
転写の しかた - 0製品公開価格あり
全自動UVナノインプリント装置 DYADの強みと方式
塗布・乾燥・
向いている
転写のしかた：UV一括式
樹脂に
全自動UVナノインプリント装置 DYADの仕様
- 転写の
しかた - UV一括式
- 方式
- UV照射式。
塗布から乾燥、 アライメント、貼合、 剥離まで 全自動 - 基板・ワーク
- 200mm、
300mm - 加圧
- 0.90MPa以下
- 温度
- —公式資料で
確認できず - UV光
- 365nm
（UV-LED） - 位置合わせ
- ±1μm以下
（オプション） - 外形寸法
- W5,460×
D2,560× H2,500mm - 価格
- —公式資料で
確認できず - 転写範囲
- —公式資料で
確認できず - モールド
- —公式資料で
確認できず - 解像度
- —公式資料で
確認できず - 処理量
- 20枚/時間
（プロセスによる） - 真空度
- 50Pa以下
- プレス速度
- —公式資料で
確認できず - 質量
- —公式資料で
確認できず - 電源
- —公式資料で
確認できず
SCIVAXの
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 全自動UV | 実験用簡易UV | SmartNIL UV | |
|---|---|---|---|
| 転写の | UV一括式 | UV一括式 | UV一括式 |
| 方式 | UV照射式。 | プレスしながら | SmartNIL |
| 基板・ワーク | 200mm、 | 4〜6インチ（Si） | 75〜200mm |
| 加圧 | 0.90MPa以下 | —公式資料で | —公式資料で |
| 温度 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| UV光 | 365nm | 0.5mW/cm² | —公式資料で |
| 位置合わせ | ±1μm以下 | —公式資料で | 上面 |
| 外形寸法 | W5,460× | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 転写範囲 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| モールド | —公式資料で | 25〜40mm | —公式資料で |
| 解像度 | —公式資料で | —公式資料で | 40nm以下 |
| 処理量 | 20枚/時間 | —公式資料で | —公式資料で |
| 真空度 | 50Pa以下 | —公式資料で | —公式資料で |
| プレス速度 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 質量 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 電源 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
全自動UVナノインプリント装置 DYADのよくある質問
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADはどんな人に向いている？
全自動UVナノインプリント装置 DYADは、光学デバイスの量産ラインに使う人向けです。全自動UVナノインプリント装置 DYADは、塗布・乾燥・アライメント・貼り合わせ・剥離までを1台で自動で回す量産機です。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADの強みは？
全自動UVナノインプリント装置 DYADのウエハーは200mmと300mmを使え、貼り合わせ精度はオプションで±1μm以下です。SCIVAXと共同で開発した装置で、AR・VR・MRなどの光学デバイスに向きます。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADはどんな方式？
全自動UVナノインプリント装置 DYADの転写のしかたはUV一括式です。樹脂に型を押し当て、UVで固めて基板の全面を一度に写す型です。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADの主な仕様は？
全自動UVナノインプリント装置 DYADの方式はUV照射式。塗布から乾燥、アライメント、貼合、剥離まで全自動、基板・ワークは200mm、300mmです。加圧は0.90MPa以下、UV光は365nm（UV-LED）です。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADと実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500はどっちがいい？
光学デバイスの量産ラインなら全自動UVナノインプリント装置 DYAD、樹脂とプロセスの評価ならリソテックジャパンの実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500です。全自動UVナノインプリント装置 DYADの方式はUV照射式。塗布から乾燥、アライメント、貼合、剥離まで全自動、基板・ワークは200mm、300mmです。リソテックジャパンの実験用簡易UVナノインプリント装置 LTNIP-500の方式はプレスしながらUV照射、基板・ワークは4〜6インチ（Si）です。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADの位置合わせは？
全自動UVナノインプリント装置 DYADの位置合わせは±1μm以下（オプション）です。イーヴィグループジャパンのSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の位置合わせは上面アライメント（オプション）です。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADの外形寸法は？
全自動UVナノインプリント装置 DYADの外形寸法はW5,460×D2,560×H2,500mmです。ウェルテックの小型UVナノインプリント装置 CI-80の外形寸法はW320×D290×H445mm（転写部）です。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADの真空度は？
全自動UVナノインプリント装置 DYADの真空度は50Pa以下です。ウェルテックの小型UVナノインプリント装置 CI-80の真空度は1000Paです。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADとSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200はどっちがいい？
光学デバイスの量産ラインなら全自動UVナノインプリント装置 DYAD、研究開発から生産まで同じ方式でならイーヴィグループジャパンのSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200です。全自動UVナノインプリント装置 DYADの方式はUV照射式。塗布から乾燥、アライメント、貼合、剥離まで全自動、基板・ワークは200mm、300mmです。イーヴィグループジャパンのSmartNIL UVナノインプリント装置 EVG 7200の方式はSmartNIL（フレキシブルスタンプで全面転写）、基板・ワークは75〜200mmです。
Q.全自動UVナノインプリント装置 DYADはどこのメーカー？
全自動UVナノインプリント装置 DYADはタツモ株式会社の製品です。岡山市に本社を置き、半導体製造装置やFPD製造装置、ナノインプリント装置を作る会社です。
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