熱ナノインプリント装置（熱・UV兼用）のメーカー4社比較【2026年】

4製品とも、公式に価格を出していません。明昌機工のNM-0801HBや三井電気精機のTM-02のような研究・試作機から、芝浦機械のST50のように質量2,800kgの装置まで幅があります。見積もりのときは、樹脂・温度・ワークの大きさ・型を伝えます。オプションの有無でも値段が変わるので、条件をそろえて頼みます。材料での試作を頼めるかも確かめます。

温度の上限と、ワークの大きさが違います。三井電気精機のTM-02は室温〜250℃で、ワークは50×50mmです。SCIVAXのRubiQ RD-100は最高200℃で、直径100mmまでです。芝浦機械のST50は熱転写仕様で最大200℃、プレス力は0〜50kNです。明昌機工のNM-0801HBは、仕様を公式のカタログPDFに載せています。樹脂の成形温度とワークで選びます。

熱式は樹脂を温めて軟らかくして型を押し当て、UV式はUV硬化樹脂に型を押し当てて光で固めます。熱式なら、熱可塑樹脂にも形を写せます。UV式は、樹脂を温めずに写せます。このページの4製品は、どれもUVにも切り替えられます。同じ1台で、両方の条件を比べられます。樹脂を決めかねているときに向きます。

三井電気精機のTM-02は、室温〜250℃です。SCIVAXのRubiQ RD-100と芝浦機械のST50（熱転写仕様時）は、最高200℃です。明昌機工のNM-0801HBは、温度を製品ページに出していません。樹脂の成形温度に余裕を持たせて、温度の上限を選びます。RD-100は、熱可塑樹脂と熱硬化樹脂を使えます。

芝浦機械のST50は、プレス力を0〜50kNで細かく制御できます。SCIVAXのRubiQ RD-100は最大0.7MPaで、平行平板かFLAN空気加圧を選べます。三井電気精機のTM-02は、プレス荷重と速度、剥離荷重と速度をそれぞれ設定できます。単位が違うので、型の面積に合わせて読み替えます。樹脂と型を伝えて、必要な加圧を聞きます。

SCIVAXのRubiQ RD-100は直径100mmまで、三井電気精機のTM-02は50×50mmです。芝浦機械のST50は、UV転写仕様でモールドが最大直径150mmです。明昌機工のNM-0801HBは、ワークの大きさを製品ページに出していません。研究の試料の大きさと、将来の基板の大きさの両方で選びます。カタログで確かめてから、見積もりを頼みます。

芝浦機械のST50は、0.01〜30mm/sです。三井電気精機のTM-02は、1〜1000μm/secで決められます。ST50はプレス位置とプレス力も細かく制御でき、TM-02は剥離の速度も別に決められます。離型の条件を詰めたいなら、剥離の速度を決められる機種を選びます。樹脂と型で試して、条件を決めます。

芝浦機械のST50は、ステップ＆リピート用のXYステージと真空チャンバをオプションで載せられます。SCIVAXのRubiQ RD-100は、導入後も現地でオプションを足せます。三井電気精機と明昌機工のオプションは、各社に確かめます。後から広げる予定があるなら、足せるオプションを先に聞きます。予算も、オプションを含めて組みます。

SCIVAXのRubiQ RD-100は、W540×D790×H1,790mmです。芝浦機械のST50はL1.9m×W1.0m×H2.3mで、質量は2,800kgあります。三井電気精機のTM-02と明昌機工のNM-0801HBは、大きさを製品ページに出していません。ST50は重いので、床の強さと搬入経路を先に確かめます。クリーンな環境に置ける広さも見ます。

このページには、明昌機工・三井電気精機・SCIVAX・芝浦機械の4社を載せています。温度を250℃まで上げたいなら三井電気精機、UV＋熱アシストも選びたいならSCIVAXです。プレス力を細かく制御したいなら芝浦機械、研究開発と基礎実験の機種なら明昌機工です。UVだけでよければ、UVナノインプリント装置のページも見てください。