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ガラス基板合成石英ガラス基板

合成石英ガラス基板 VIOSIL-⁠SQ

信越化学工業株式会社

フォトマスク用の合成石英ガラス基板。

価格
公開価格なし（見積もり）
用途
合成石英ガラス基板
向いている所
フォトマスク・ナノインプリントの基板
カタログ
あり（PDF）
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比較表での位置

合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQは、ガラス基板のメーカー4社比較⁠の用途「合成石英ガラス基板」の1製品の1つとして載っています。

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合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQ​の強みと方式

高純度の合成石英で作る基板で、半導体やFPDのフォトマスクに使います。熱膨張係数は0.53ppm/℃（0〜100℃）と小さく、歪点は985℃です。12インチのウェーハのほか、大型のマスク基板もそろいます。

向いている所フォトマスク・ナノインプリントの基板

用途：合成石英ガラス基板

高純度の合成石英で作る基板です。熱でほとんど伸び縮みせず、紫外光までよく通します。半導体やFPDのフォトマスク、ナノインプリントの型の土台に使います。

合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQ​の仕様

用途
合成石英ガラス基板
ガラスの種類
合成石英ガラス（OH基300〜1,000ppm）
厚さ
0.15〜0.50mm（薄物ウェーハ）
サイズ
12インチのウェーハまで
熱膨張係数
0.53ppm/℃（0〜100℃）
歪点
985℃
透過率
—公式資料で確認できず
主な用途
半導体・FPDのフォトマスク基板、ナノインプリント用テンプレート
価格
—公式資料で確認できず
密度
比重2.2
ヤング率
72.5GPa
特長
主な金属不純物が各1ppb未満

OH基を減らした高耐熱のVIOSIL-SX・VIOSIL-LSXもある。物性は参考値。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

合成石英ガラス基板 VIOSIL-⁠SQ信越化学工業株式会社無アルカリガラス基板 OA-11日本電気硝子株式会社微細孔付きガラス基板 EN-A1AGC株式会社
用途合成石英ガラス基板ディスプレイ用（無アルカリガラスの大判）半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）
ガラスの種類合成石英ガラス（OH基300〜1,000ppm）無アルカリガラス（アルカリ酸化物0.1%以下）無アルカリガラス（EN-A1など）
厚さ0.15〜0.50mm（薄物ウェーハ）—公式資料で確認できず0.1〜1.0mm
サイズ12インチのウェーハまで—公式資料で確認できずウェハ直径150・200・300mm、パネル510×515mm
熱膨張係数0.53ppm/℃（0〜100℃）37×10 ⁻⁷/K（30〜380℃）シリコンに近い
歪点985℃685℃—公式資料で確認できず
透過率—公式資料で確認できず92%（波長550nm）—公式資料で確認できず
主な用途半導体・FPDのフォトマスク基板、ナノインプリント用テンプレート液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ半導体パッケージ用回路基板、ガラスインターポーザ、MEMS・センサー
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
密度比重2.22.52×10³kg/m³—公式資料で確認できず
ヤング率72.5GPa78GPa—公式資料で確認できず
特長主な金属不純物が各1ppb未満無研磨でも表面が平滑孔径20〜150μmの貫通孔・止まり穴をあける

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合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQ​のよくある質問

Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQはどんな人に向いている？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQは、フォトマスク・ナノインプリントの基板に使う人向けです。合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQは、高純度の合成石英で作る基板で、半導体やFPDのフォトマスクに使います。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの強みは？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの熱膨張係数は0.53ppm/℃（0〜100℃）と小さく、歪点は985℃です。12インチのウェーハのほか、大型のマスク基板もそろいます。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQはどんな方式？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの用途は合成石英ガラス基板です。高純度の合成石英で作る基板です。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの主な仕様は？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQのガラスの種類は合成石英ガラス（OH基300〜1,000ppm）、厚さは0.15〜0.50mm（薄物ウェーハ）⁠で⁠す⁠。サイズは12インチのウェーハまで、熱膨張係数は0.53ppm/℃（0〜100℃）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQと無アルカリガラス基板 OA-11はどっちがいい？
フォトマスク・ナノインプリントの基板なら合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQ、液晶・有機ELのTFT基板なら日本電気硝子の無アルカリガラス基板 OA-11です。合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQのガラスの種類は合成石英ガラス（OH基300〜1,000ppm）、厚さは0.15〜0.50mm（薄物ウェーハ）⁠で⁠す⁠。日本電気硝子の無アルカリガラス基板 OA-11のガラスの種類は無アルカリガラス（アルカリ酸化物0.1%以下）、熱膨張係数は37×10 ⁻⁷/K（30〜380℃）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの歪点は？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの歪点は985℃です。日本電気硝子の無アルカリガラス基板 OA-11の歪点は685℃です。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの主な用途は？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの主な用途は半導体・FPDのフォトマスク基板、ナノインプリント用テンプレートです。日本電気硝子の無アルカリガラス基板 OA-11の主な用途は液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイです。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの密度は？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQの密度は比重2.2です。日本電気硝子の無アルカリガラス基板 OA-11の密度は2.52×10³kg/m³です。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQと微細孔付きガラス基板 EN-A1はどっちがいい？
フォトマスク・ナノインプリントの基板なら合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQ、3D実装の回路基板・インターポーザならAGCの微細孔付きガラス基板 EN-A1です。合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQのガラスの種類は合成石英ガラス（OH基300〜1,000ppm）、厚さは0.15〜0.50mm（薄物ウェーハ）⁠で⁠す⁠。AGCの微細孔付きガラス基板 EN-A1のガラスの種類は無アルカリガラス（EN-A1など）、厚さは0.1〜1.0mmです。
Q.合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQはどこのメーカー？
合成石英ガラス基板 VIOSIL-SQは信越化学工業株式会社の製品です。登記上の本店は〒100-0005 東京都千代田区丸の内1丁目4番1号。信越化学工業の主な製品分野は次亜塩素酸ナトリウム・電磁波吸収シート・工業用グリース・放熱グリスです。

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