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ガラス基板半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）

無アルカリ薄板ガラス AF 32

ショット日本株式会社

薄板の無アルカリガラス。0.03〜0.5mm。

価格
公開価格なし（見積もり）
用途
半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）
向いている所
ウェハレベルパッケージ・MEMSのカバー
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比較表での位置

無アルカリ薄板ガラス AF 32は、ガラス基板のメーカー4社比較⁠の用途が半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）の4製品の1つとして載っています。

  • 4社掲載社数
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無アルカリ薄板ガラス AF 32​の強みと方式

厚さ0.03〜0.5mmの薄板で作る、シリコンに近い膨張の無アルカリガラスです。12インチのウェハまで使え、半導体のウェハレベルパッケージやMEMSのカバーに合います。耐温度は650℃までです。

向いている所ウェハレベルパッケージ・MEMSのカバー

用途：半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）

シリコンウェーハと同じ丸い形や、四角いパネルで納めるガラスです。半導体パッケージの工程でチップを支えたり、MEMSとシリコンを陽極接合したり、孔をあけて回路基板にしたりします。熱膨張係数をシリコンや載せる材料に合わせて選びます。

無アルカリ薄板ガラス AF 32​の仕様

用途
半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）
ガラスの種類
無アルカリガラス
厚さ
0.03〜0.5mm
サイズ
12インチのウェハまで
熱膨張係数
シリコンに近い
歪点
—公式資料で確認できず
透過率
91.9%
主な用途
半導体のウェハレベルパッケージ、MEMSのカバー・基板
価格
—公式資料で確認できず
密度
—公式資料で確認できず
ヤング率
—公式資料で確認できず
特長
耐温度は最高650℃

ドイツSCHOTTのガラスを日本法人のショット日本が案内している。製品名はAF 32 eco。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

無アルカリ薄板ガラス AF 32ショット日本株式会社半導体用サポートガラス ABC-G日本電気硝子株式会社微細孔付きガラス基板 EN-A1AGC株式会社
用途半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）
ガラスの種類無アルカリガラス—公式資料で確認できず無アルカリガラス（EN-A1など）
厚さ0.03〜0.5mm—公式資料で確認できず0.1〜1.0mm
サイズ12インチのウェハまで直径12インチ（TTV1μm未満まで）ウェハ直径150・200・300mm、パネル510×515mm
熱膨張係数シリコンに近い3.6ppm/℃（20〜220℃）シリコンに近い
歪点—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
透過率91.9%—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な用途半導体のウェハレベルパッケージ、MEMSのカバー・⁠⁠⁠⁠⁠⁠基板アドバンスドパッケージ、化合物半導体、精密研磨の支持基板半導体パッケージ用回路基板、ガラスインターポーザ、MEMS・センサー
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
密度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ヤング率—公式資料で確認できず73GPa—公式資料で確認できず
特長耐温度は最高650℃ガラスコードで熱膨張係数3.6〜8.7ppm/℃を選べる孔径20〜150μmの貫通孔・止まり穴をあける

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無アルカリ薄板ガラス AF 32​のよくある質問

Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32はどんな人に向いている？
無アルカリ薄板ガラス AF 32は、ウェハレベルパッケージ・MEMSのカバーに使う人向けです。無アルカリ薄板ガラス AF 32は、厚さ0.03〜0.5mmの薄板で作る、シリコンに近い膨張の無アルカリガラスです。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32の強みは？
無アルカリ薄板ガラス AF 32は、12インチのウェハまで使え、半導体のウェハレベルパッケージやMEMSのカバーに合います。耐温度は650℃までです。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32はどんな方式？
無アルカリ薄板ガラス AF 32の用途は半導体・MEMS用（ガラスウェハ・支持基板）で⁠す⁠。シリコンウェーハと同じ丸い形や、四角いパネルで納めるガラスです。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32の主な仕様は？
無アルカリ薄板ガラス AF 32のガラスの種類は無アルカリガラス、厚さは0.03〜0.5mmです。サイズは12インチのウェハまで、熱膨張係数はシリコンに近いです。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32と半導体用サポートガラス ABC-Gはどっちがいい？
ウェハレベルパッケージ・MEMSのカバーなら無アルカリ薄板ガラス AF 32、半導体パッケージ工程の支持基板なら日本電気硝子の半導体用サポートガラス ABC-Gです。無アルカリ薄板ガラス AF 32のガラスの種類は無アルカリガラス、厚さは0.03〜0.5mmです。日本電気硝子の半導体用サポートガラス ABC-Gのサイズは直径12インチ（TTV1μm未満まで）、熱膨張係数は3.6ppm/℃（20〜220℃）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32の透過率は？
無アルカリ薄板ガラス AF 32の透過率は91.9%です。日本電気硝子の無アルカリガラス基板 OA-11の透過率は92%（波長550nm）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32の主な用途は？
無アルカリ薄板ガラス AF 32の主な用途は半導体のウェハレベルパッケージ、MEMSのカバー・基板です。日本電気硝子の半導体用サポートガラス ABC-Gの主な用途はアドバンスドパッケージ、化合物半導体、精密研磨の支持基板です。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32と微細孔付きガラス基板 EN-A1はどっちがいい？
ウェハレベルパッケージ・MEMSのカバーなら無アルカリ薄板ガラス AF 32、3D実装の回路基板・インターポーザならAGCの微細孔付きガラス基板 EN-A1です。無アルカリ薄板ガラス AF 32のガラスの種類は無アルカリガラス、厚さは0.03〜0.5mmです。AGCの微細孔付きガラス基板 EN-A1のガラスの種類は無アルカリガラス（EN-A1など）、厚さは0.1〜1.0mmです。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32のほかにショット日本のガラス基板はある？
あります。ショット日本のガラス基板には、無アルカリ薄板ガラス AF 32のほかにホウケイ酸ガラスウェハ MEMpax（ガラスの種類はホウケイ酸ガラス）があります。
Q.無アルカリ薄板ガラス AF 32はどこのメーカー？
無アルカリ薄板ガラス AF 32はショット日本株式会社の製品です。登記上の本店は〒528-0034 滋賀県甲賀市水口町日電3番1号。ショットグループの日本法人で、自社グループの特殊ガラスを扱っています。

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