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CMP装置小径・基板用（小型）

パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECT

ムサシノ電子株式会社

ムサシノ電子のパネル型試料用CMP研磨装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
小径・基板用（小型）
向いている所
ガラスなど大きなパネルの表面CMP
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比較表での位置

パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTは、CMP装置のメーカー6社比較⁠の種類「小径・基板用（小型）」の2製品の1つとして載っています。

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パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECT​の強みと方式

丸いウェーハではなく、ガラスなど大きなパネル型の試料の表面をCMPで磨く装置です。回転台に試料を固定し、上で揺れるフレキシブルパッドで全面を一様に磨きます。研磨荷重は圧空で細かく合わせます。

向いている所ガラスなど大きなパネルの表面CMP

種類：小径・基板用（小型）

3・4インチの小さなウェーハや、ガラスなどのパネル型の試料を磨く型です。CMPのほか、ラップ・ポリッシュにも使えるものがあります。

パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECT​の仕様

種類
小径・基板用（小型）
対応ウェーハ・試料
大型のパネル型サンプル（ガラスなど）
ヘッド・テーブル
上部揺動ユニットのフレキシブルパッド
載せ方
回転台にサンプルを固定
終点検出
—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
プラテン・定盤
—公式資料で確認できず
ドレス
—公式資料で確認できず
装置寸法
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
用途
パネル型サンプルの表面CMP
特長
圧空で研磨荷重を微調整、タッチパネルでプログラム入力

特注研磨装置として案内している。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTムサシノ電子株式会社CMP装置 TRCP380テクノライズ株式会社CMP装置 ChaMP332株式会社東京精密
種類小径・基板用（小型）小径・基板用（小型）量産用（全自動）
対応ウェーハ・試料大型のパネル型サンプル（ガラスなど）3インチ・4インチ300mm
ヘッド・テーブル上部揺動ユニットのフレキシブルパッド2軸のポリッシングヘッドエアフロート式ヘッド（Sylphide）、ゾーン制御はオプション
載せ方回転台にサンプルを固定セミオート—公式資料で確認できず
終点検出—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プラテン・定盤—公式資料で確認できず外径380mm—公式資料で確認できず
ドレス—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
装置寸法—公式資料で確認できず幅1,010×奥行945×高さ1,875mm—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途パネル型サンプルの表面CMPガラス・金属・セラミックのラップからCMPまで先端デバイスの量産
特長圧空で研磨荷重を微調整、タッチパネルでプログラム入力強制ドライブ機構、循環冷却水機構リテーナの取り外し約5秒、取り付け約10秒

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パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECT​のよくある質問

Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTはどんな人に向いている？
パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTは、ガラスなど大きなパネルの表面CMPに使う人向けです。丸いウェーハではなく、ガラスなど大きなパネル型の試料の表面をCMPで磨く装置です。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの強みは？
パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTは、回転台に試料を固定し、上で揺れるフレキシブルパッドで全面を一様に磨きます。研磨荷重は圧空で細かく合わせます。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTはどんな方式？
パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの種類は小径・基板用（小型）⁠で⁠す⁠。⁠3⁠・4インチの小さなウェーハや、ガラスなどのパネル型の試料を磨く型です。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの主な仕様は？
パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの対応ウェーハ・試料は大型のパネル型サンプル（ガラスなど）、ヘッド・テーブルは上部揺動ユニットのフレキシブルパッドです。載せ方は回転台にサンプルを固定、用途はパネル型サンプルの表面CMPです。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTとCMP装置 TRCP380はどっちがいい？
ガラスなど大きなパネルの表面CMPならパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECT、3・4インチ基板のCMPと仕上げならテクノライズのCMP装置 TRCP380です。パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの対応ウェーハ・試料は大型のパネル型サンプル（ガラスなど）、ヘッド・テーブルは上部揺動ユニットのフレキシブルパッドです。テクノライズのCMP装置 TRCP380の対応ウェーハ・試料は3インチ・4インチ、ヘッド・テーブルは2軸のポリッシングヘッドです。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの特長は？
パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの特長は圧空で研磨荷重を微調整、タッチパネルでプログラム入力です。テクノライズのCMP装置 TRCP380の特長は強制ドライブ機構、循環冷却水機構です。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTとCMP装置 ChaMP332はどっちがいい？
ガラスなど大きなパネルの表面CMPならパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECT、300mmウェーハの量産ラインなら東京精密のCMP装置 ChaMP332です。パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの対応ウェーハ・試料は大型のパネル型サンプル（ガラスなど）、ヘッド・テーブルは上部揺動ユニットのフレキシブルパッドです。東京精密のCMP装置 ChaMP332の対応ウェーハ・試料は300mm、ヘッド・テーブルはエアフロート式ヘッド（Sylphide）、ゾーン制御はオプションです。
Q.パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTはどこのメーカー？
パネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTはムサシノ電子株式会社の製品です。登記上の本店は〒180-0002 東京都武蔵野市吉祥寺東町1丁目17番18号。ムサシノ電子の主な製品分野は研磨剤・CMP装置・精密切断機です。

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    出典
    1. ムサシノ電子株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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