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CMP装置研究開発用（手置き）

CMP実験装置 ARW-8C1MS

北川グレステック株式会社

北川グレステックの300mm対応CMP実験装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
研究開発用（手置き）
向いている所
300mmまでのスラリー・パッド評価
カタログ
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比較表での位置

CMP実験装置 ARW-8C1MSは、CMP装置のメーカー6社比較⁠の種類「研究開発用（手置き）」の4製品の1つとして載っています。

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CMP実験装置 ARW-8C1MS​の強みと方式

3インチから300mmまで1台で磨ける、手置きのCMP実験装置です。プラテンは直径810mmで、ドレスは直径100mmのスイープです。CMPのほかMEMSやCMP部材の評価にも使えます。

向いている所300mmまでのスラリー・パッド評価

種類：研究開発用（手置き）

ウェーハを手で載せて磨く型です。圧力・回転数・ドレスの条件を細かく変えて、スラリーやパッドを評価します。研究開発で出した条件を量産機へ移せる機種もあります。

CMP実験装置 ARW-8C1MS​の仕様

種類
研究開発用（手置き）
対応ウェーハ・試料
3インチ〜300mm
ヘッド・テーブル
—公式資料で確認できず
載せ方
マニュアル
終点検出
—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
プラテン・定盤
直径810mm
ドレス
直径100mmスイープ
装置寸法
幅1800×奥行1100×高さ2250mm
電源
—公式資料で確認できず
用途
CMP、MEMS、CMP部材の評価
特長
—公式資料で確認できず

同社のARW-461M（150mmまで）⁠・DCMシリーズ（卓上型）⁠も⁠あ⁠⁠⁠⁠る⁠。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

CMP実験装置 ARW-8C1MS北川グレステック株式会社研究開発用CMP装置 MGP-712ミクロ技研株式会社CMP装置 SPP600S株式会社岡本工作機械製作所
種類研究開発用（手置き）研究開発用（手置き）研究開発用（手置き）
対応ウェーハ・試料3インチ〜300mm300mm—公式資料で確認できず
ヘッド・テーブル—公式資料で確認できず2軸、研磨ヘッドを替えられる表面基準・裏面基準の加圧方式
載せ方マニュアルマニュアルマニュアル
終点検出—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プラテン・定盤直径810mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ドレス直径100mmスイープ加工中にドレスできる（インドレス）専用のドレッサー軸、ダイヤモンドドレッサーも使える
装置寸法幅1800×奥行1100×高さ2250mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途CMP、MEMS、CMP部材の評価スラリー・パッド・基板の評価研究開発、データを全自動ポリッシャーPNX332Bへ転用
特長—公式資料で確認できず5ステップ・10メモリーのレシピ取り代10um以上でもウェハーの形を崩さない

CMP装置の9製品を比較表で見る

CMP実験装置 ARW-8C1MS​のよくある質問

Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSはどんな人に向いている？
CMP実験装置 ARW-8C1MSは、300mmまでのスラリー・パッド評価に使う人向けです。CMP実験装置 ARW-8C1MSは、3インチから300mmまで1台で磨ける、手置きのCMP実験装置です。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSの強みは？
CMP実験装置 ARW-8C1MSのプラテンは直径810mmで、ドレスは直径100mmのスイープです。CMPのほかMEMSやCMP部材の評価にも使えます。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSはどんな方式？
CMP実験装置 ARW-8C1MSの種類は研究開発用（手置き）⁠で⁠す⁠。ウェーハを手で載せて磨く型です。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSの主な仕様は？
CMP実験装置 ARW-8C1MSの対応ウェーハ・試料は3インチ〜300mm、載せ方はマニュアルです。プラテン・定盤は直径810mm、ドレスは直径100mmスイープです。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSと研究開発用CMP装置 MGP-712はどっちがいい？
300mmまでのスラリー・パッド評価ならCMP実験装置 ARW-8C1MS、300mmのスラリー・パッド評価ならミクロ技研の研究開発用CMP装置 MGP-712です。CMP実験装置 ARW-8C1MSの対応ウェーハ・試料は3インチ〜300mm、載せ方はマニュアルです。ミクロ技研の研究開発用CMP装置 MGP-712の対応ウェーハ・試料は300mm、ヘッド・テーブルは2軸、研磨ヘッドを替えられる。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSの装置寸法は？
CMP実験装置 ARW-8C1MSの装置寸法は幅1800×奥行1100×高さ2250mmです。テクノライズのCMP装置 TRCP380の装置寸法は幅1,010×奥行945×高さ1,875mmです。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSの用途は？
CMP実験装置 ARW-8C1MSの用途はCMP、MEMS、CMP部材の評価です。ミクロ技研の研究開発用CMP装置 MGP-712の用途はスラリー・パッド・基板の評価です。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSとCMP装置 SPP600Sはどっちがいい？
300mmまでのスラリー・パッド評価ならCMP実験装置 ARW-8C1MS、量産機へ条件を移す研究開発なら岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sです。CMP実験装置 ARW-8C1MSの対応ウェーハ・試料は3インチ〜300mm、載せ方はマニュアルです。岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sのヘッド・テーブルは表面基準・裏面基準の加圧方式、載せ方はマニュアルです。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSのほかに北川グレステックのCMP装置はある？
あります。北川グレステックのCMP装置には、CMP実験装置 ARW-8C1MSのほかにCMP実験装置 ARW-681MSⅡ（対応ウェーハ・試料は3インチ〜200mm）があります。
Q.CMP実験装置 ARW-8C1MSはどこのメーカー？
CMP実験装置 ARW-8C1MSは北川グレステック株式会社の製品です。千葉市に本社を置き、CMP装置・洗浄機・研削機と研磨材を扱います。

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    1. 北川グレステック株式会社 公式
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