イメージイメージCMP装置研究開発用（手置き）
CMP装置 SPP600S
株式会社岡本工作機械の
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 種類
- 研究開発用（手置き）
- 向いている所
- 量産機へ
条件を 移す研究開発
比較表での位置
CMP装置 SPP600Sの強みと方式
研究開発で
向いている所量産機へ
種類：研究開発用（手置き）
ウェーハを
CMP装置 SPP600Sの仕様
- 種類
- 研究開発用（手置き）
- 対応ウェーハ・試料
- —公式資料で
確認できず - ヘッド・
テーブル - 表面基準・裏面基準の
加圧方式 - 載せ方
- マニュアル
- 終点検出
- —公式資料で
確認できず - 洗浄・乾燥
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - プラテン・定盤
- —公式資料で
確認できず - ドレス
- 専用の
ドレッサー軸、 ダイヤモン ドドレッサー も使える - 装置寸法
- —公式資料で
確認できず - 電源
- —公式資料で
確認できず - 用途
- 研究開発、
データを 全自動 ポリッシャー PNX332Bへ転用 - 特長
- 取り代
10um以上でも ウェハーの 形を崩さない
シリーズは
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| CMP装置 SPP600S株式会社 | CMP実験装置 ARW-681MSⅡ北川 | CMP実験装置 ARW-8C1MS北川 | |
|---|---|---|---|
| 種類 | 研究開発用（手置き） | 研究開発用（手置き） | 研究開発用（手置き） |
| 対応ウェーハ・試料 | —公式資料で | 3インチ | 3インチ |
| ヘッド・ | 表面基準・裏面基準の | —公式資料で | —公式資料で |
| 載せ方 | マニュアル | マニュアル | マニュアル |
| 終点検出 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 洗浄・乾燥 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| プラテン・定盤 | —公式資料で | 直径610mm | 直径810mm |
| ドレス | 専用の | 直径100mm | 直径100mm |
| 装置寸法 | —公式資料で | 幅1375× | 幅1800× |
| 電源 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 用途 | 研究開発、 | CMP、 | CMP、 |
| 特長 | 取り代 | —公式資料で | —公式資料で |
CMP装置 SPP600Sのよくある質問
Q.CMP装置 SPP600Sはどんな人に向いている？
CMP装置 SPP600Sは、量産機へ条件を移す研究開発に使う人向けです。CMP装置 SPP600Sは、研究開発で出した条件を、全自動ポリッシャーPNX332Bへそのまま移せる手置きのCMP装置です。
Q.CMP装置 SPP600Sの強みは？
CMP装置 SPP600Sは、表面基準・裏面基準の加圧方式を選べます。取り代10um以上を磨いてもウェハーの形を崩さないと岡本工作機械は案内しています。
Q.CMP装置 SPP600Sはどんな方式？
CMP装置 SPP600Sの種類は研究開発用（手置き）です。ウェーハを手で載せて磨く型です。
Q.CMP装置 SPP600Sの主な仕様は？
CMP装置 SPP600Sのヘッド・テーブルは表面基準・裏面基準の加圧方式、載せ方はマニュアルです。ドレスは専用のドレッサー軸、ダイヤモンドドレッサー も使える、用途は研究開発、データを全自動ポリッシャーPNX332Bへ転用です。
Q.CMP装置 SPP600SとCMP実験装置 ARW-681MSⅡはどっちがいい？
量産機へ条件を移す研究開発ならCMP装置 SPP600S、200mmまでの研究室のCMPなら北川グレステックのCMP実験装置 ARW-681MSⅡです。CMP装置 SPP600Sのヘッド・テーブルは表面基準・裏面基準の加圧方式、載せ方はマニュアルです。北川グレステックのCMP実験装置 ARW-681MSⅡの対応ウェーハ・試料は3インチ〜200mm、載せ方はマニュアルです。
Q.CMP装置 SPP600Sの特長は？
CMP装置 SPP600Sの特長は取り代10um以上でもウェハーの形を崩さない。ミクロ技研の研究開発用CMP装置 MGP-712の特長は5ステップ・10メモリーのレシピです。
Q.CMP装置 SPP600SとCMP実験装置 ARW-8C1MSはどっちがいい？
量産機へ条件を移す研究開発ならCMP装置 SPP600S、300mmまでのスラリー・パッド評価なら北川グレステックのCMP実験装置 ARW-8C1MSです。CMP装置 SPP600Sのヘッド・テーブルは表面基準・裏面基準の加圧方式、載せ方はマニュアルです。北川グレステックのCMP実験装置 ARW-8C1MSの対応ウェーハ・試料は3インチ〜300mm、載せ方はマニュアルです。
Q.CMP装置 SPP600Sはどこのメーカー？
CMP装置 SPP600Sは株式会社岡本工作機械製作所の製品です。登記上の本店は〒379-0135 群馬県安中市郷原2993番地。岡本工作機械製作所の主な製品分野は研削盤・CMP装置です。
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