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CMP装置研究開発用（手置き）

研究開発用CMP装置 MGP-712

ミクロ技研株式会社

ミクロ技研の300mm用研究開発CMP装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
研究開発用（手置き）
向いている所
300mmのスラリー・パッド評価
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比較表での位置

研究開発用CMP装置 MGP-712は、CMP装置のメーカー6社比較⁠の種類「研究開発用（手置き）」の4製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 4製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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研究開発用CMP装置 MGP-712​の強みと方式

2軸のうち片方で磨きながら、もう片方で加工中にドレスできる300mm用の手置き機です。レシピは5ステップ・10メモリーまで組めます。研磨ヘッドとポリッシングプレートは簡単に替えられます。

向いている所300mmのスラリー・パッド評価

種類：研究開発用（手置き）

ウェーハを手で載せて磨く型です。圧力・回転数・ドレスの条件を細かく変えて、スラリーやパッドを評価します。研究開発で出した条件を量産機へ移せる機種もあります。

研究開発用CMP装置 MGP-712​の仕様

種類
研究開発用（手置き）
対応ウェーハ・試料
300mm
ヘッド・テーブル
2軸、研磨ヘッドを替えられる
載せ方
マニュアル
終点検出
—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
プラテン・定盤
—公式資料で確認できず
ドレス
加工中にドレスできる（インドレス）
装置寸法
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
用途
スラリー・パッド・基板の評価
特長
5ステップ・10メモリーのレシピ

同じ型の小さい機種は100mm用MGP-15S・200mm用MGP-612。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

研究開発用CMP装置 MGP-712ミクロ技研株式会社CMP装置 SPP600S株式会社岡本工作機械製作所CMP実験装置 ARW-681MSⅡ北川グレステック株式会社
種類研究開発用（手置き）研究開発用（手置き）研究開発用（手置き）
対応ウェーハ・試料300mm—公式資料で確認できず3インチ〜200mm
ヘッド・テーブル2軸、研磨ヘッドを替えられる表面基準・裏面基準の加圧方式—公式資料で確認できず
載せ方マニュアルマニュアルマニュアル
終点検出—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プラテン・定盤—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず直径610mm
ドレス加工中にドレスできる（インドレス）専用のドレッサー軸、ダイヤモンドドレッサーも使える直径100mmスイープ
装置寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず幅1375×奥行855×高さ2200mm
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途スラリー・パッド・基板の評価研究開発、データを全自動ポリッシャーPNX332Bへ転用CMP、MEMS、CMP部材の評価
特長5ステップ・10メモリーのレシピ取り代10um以上でもウェハーの形を崩さない—公式資料で確認できず

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研究開発用CMP装置 MGP-712​のよくある質問

Q.研究開発用CMP装置 MGP-712はどんな人に向いている？
研究開発用CMP装置 MGP-712は、300mmのスラリー・パッド評価に使う人向けです。研究開発用CMP装置 MGP-712は、2軸のうち片方で磨きながら、もう片方で加工中にドレスできる300mm用の手置き機です。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712の強みは？
研究開発用CMP装置 MGP-712のレシピは5ステップ・10メモリーまで組めます。研磨ヘッドとポリッシングプレートは簡単に替えられます。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712はどんな方式？
研究開発用CMP装置 MGP-712の種類は研究開発用（手置き）⁠で⁠す⁠。ウェーハを手で載せて磨く型です。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712の主な仕様は？
研究開発用CMP装置 MGP-712の対応ウェーハ・試料は300mm、ヘッド・テーブルは2軸、研磨ヘッドを替えられる。載せ方はマニュアル、ドレスは加工中にドレスできる（インドレス）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712とCMP装置 SPP600Sはどっちがいい？
300mmのスラリー・パッド評価なら研究開発用CMP装置 MGP-712、量産機へ条件を移す研究開発なら岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sです。研究開発用CMP装置 MGP-712の対応ウェーハ・試料は300mm、ヘッド・テーブルは2軸、研磨ヘッドを替えられる。岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sのヘッド・テーブルは表面基準・裏面基準の加圧方式、載せ方はマニュアルです。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712の用途は？
研究開発用CMP装置 MGP-712の用途はスラリー・パッド・基板の評価です。岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sの用途は研究開発、データを全自動ポリッシャーPNX332Bへ転用です。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712の特長は？
研究開発用CMP装置 MGP-712の特長は5ステップ・10メモリーのレシピです。岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sの特長は取り代10um以上でもウェハーの形を崩さない。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712とCMP実験装置 ARW-681MSⅡはどっちがいい？
300mmのスラリー・パッド評価なら研究開発用CMP装置 MGP-712、200mmまでの研究室のCMPなら北川グレステックのCMP実験装置 ARW-681MSⅡです。研究開発用CMP装置 MGP-712の対応ウェーハ・試料は300mm、ヘッド・テーブルは2軸、研磨ヘッドを替えられる。北川グレステックのCMP実験装置 ARW-681MSⅡの対応ウェーハ・試料は3インチ〜200mm、載せ方はマニュアルです。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712のほかにミクロ技研のCMP装置はある？
あります。ミクロ技研のCMP装置には、研究開発用CMP装置 MGP-712のほかに全自動CMP装置 MGP708XJ（ヘッド・テーブルは研磨ヘッド8軸、3テーブル）があります。
Q.研究開発用CMP装置 MGP-712はどこのメーカー？
研究開発用CMP装置 MGP-712はミクロ技研株式会社の製品です。ミクロ技研の主な製品分野はCMP装置です。

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    1. ミクロ技研株式会社 公式
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