イメージイメージCMP装置小径・基板用（小型）
CMP装置 TRCP380
テクノライズテクノライズ
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 種類
- 小径・基板用（小型）
- 向いている所
- 3・
4インチ 基板の CMPと 仕上げ
比較表での位置
CMP装置 TRCP380の強みと方式
研削後の
向いている所
種類：小径・基板用（小型）
3・
CMP装置 TRCP380の仕様
- 種類
- 小径・基板用（小型）
- 対応ウェーハ・試料
- 3インチ・
4インチ - ヘッド・
テーブル - 2軸の
ポリッシング ヘッド - 載せ方
- セミオート
- 終点検出
- —公式資料で
確認できず - 洗浄・乾燥
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - プラテン・定盤
- 外径380mm
- ドレス
- —公式資料で
確認できず - 装置寸法
- 幅1,010×
奥行945× 高さ1,875mm - 電源
- —公式資料で
確認できず - 用途
- ガラス・金属・
セラミックの ラップから CMPまで - 特長
- 強制ドライブ機構、
循環冷却水機構
装置重量は約
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| CMP装置 TRCP380テクノライズ | パネル型 | CMP装置 ChaMP332株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 種類 | 小径・基板用（小型） | 小径・基板用（小型） | 量産用（全自動） |
| 対応ウェーハ・試料 | 3インチ・ | 大型の | 300mm |
| ヘッド・ | 2軸の | 上部揺動 | エアフロート |
| 載せ方 | セミオート | 回転台に | —公式資料で |
| 終点検出 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 洗浄・乾燥 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| プラテン・定盤 | 外径380mm | —公式資料で | —公式資料で |
| ドレス | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 装置寸法 | 幅1,010× | —公式資料で | —公式資料で |
| 電源 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 用途 | ガラス・金属・ | パネル型 | 先端デバイスの量産 |
| 特長 | 強制ドライブ機構、 | 圧空で | リテーナの |
CMP装置 TRCP380のよくある質問
Q.CMP装置 TRCP380はどんな人に向いている？
CMP装置 TRCP380は、3・4インチ基板のCMPと仕上げに使う人向けです。CMP装置 TRCP380は、研削後のウェーハのダメージ層をとる仕上げと、CMPを1台でこなす据置型の2軸機です。
Q.CMP装置 TRCP380の強みは？
CMP装置 TRCP380の対象は3インチ・4インチで、加圧を細かく制御できます。オプションを組み合わせ、ガラス・金属・セラミックのラップにも使えます。
Q.CMP装置 TRCP380はどんな方式？
CMP装置 TRCP380の種類は小径・基板用（小型）です。3・4インチの小さなウェーハや、ガラスなどのパネル型の試料を磨く型です。
Q.CMP装置 TRCP380の主な仕様は？
CMP装置 TRCP380の対応ウェーハ・試料は3インチ・4インチ、ヘッド・テーブルは2軸のポリッシングヘッド です。載せ方はセミオート、プラテン・定盤は外径380mmです。
Q.CMP装置 TRCP380とパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTはどっちがいい？
3・4インチ基板のCMPと仕上げならCMP装置 TRCP380、ガラスなど大きなパネルの表面CMPならムサシノ電子のパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTです。CMP装置 TRCP380の対応ウェーハ・試料は3インチ・4インチ、ヘッド・テーブルは2軸のポリッシングヘッド です。ムサシノ電子のパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの対応ウェーハ・試料は大型のパネル型サンプル（ガラスなど）、ヘッド・テーブルは上部揺動ユニットのフレキシブルパッドです。
Q.CMP装置 TRCP380の装置寸法は？
CMP装置 TRCP380の装置寸法は幅1,010×奥行945×高さ1,875mmです。ミクロ技研の全自動CMP装置 MGP708XJの装置寸法は2650D×3480W×2400Hです。
Q.CMP装置 TRCP380の用途は？
CMP装置 TRCP380の用途はガラス・金属・セラミックのラップからCMPまでです。ムサシノ電子のパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの用途はパネル型サンプルの表面CMPです。
Q.CMP装置 TRCP380の特長は？
CMP装置 TRCP380の特長は強制ドライブ機構、循環冷却水機構です。ムサシノ電子のパネル型サンプル用CMP研磨装置 MA-600e RECTの特長は圧空で研磨荷重を微調整、タッチパネルでプログラム入力です。
Q.CMP装置 TRCP380とCMP装置 ChaMP332はどっちがいい？
3・4インチ基板のCMPと仕上げならCMP装置 TRCP380、300mmウェーハの量産ラインなら東京精密のCMP装置 ChaMP332です。CMP装置 TRCP380の対応ウェーハ・試料は3インチ・4インチ、ヘッド・テーブルは2軸のポリッシングヘッド です。東京精密のCMP装置 ChaMP332の対応ウェーハ・試料は300mm、ヘッド・テーブルはエアフロート式ヘッド（Sylphide）、ゾーン制御はオプションです。
Q.CMP装置 TRCP380はどこのメーカー？
CMP装置 TRCP380はテクノライズ株式会社の製品です。テクノライズの主な製品分野はCMP装置です。
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