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CMP装置量産用（全自動）

小型CMP装置 ChaMP211

株式会社東京精密

ローダーと洗浄ユニットを載せた東京精密の小型CMP装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
量産用（全自動）
向いている所
SiC・MEMSの試作から量産
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比較表での位置

小型CMP装置 ChaMP211は、CMP装置のメーカー6社比較⁠の種類「量産用（全自動）」の3製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
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小型CMP装置 ChaMP211​の強みと方式

小型の本体にローダー・洗浄ユニット・光学式の終点検出まで載せたCMP装置です。2〜8インチの研磨ヘッドがあり、同じ本体で径の違うウェーハを磨けます。研究開発から試作・量産まで仕様を広げられます。

向いている所SiC・MEMSの試作から量産

種類：量産用（全自動）

ウェーハの出し入れをロボットやローダーに任せ、続けて磨く型です。研磨ヘッドやテーブルを増やして枚数をこなします。洗浄機とつなぎ、乾いた状態で取り出せる機種もあります。

小型CMP装置 ChaMP211​の仕様

種類
量産用（全自動）
対応ウェーハ・試料
2〜8インチ、研磨ヘッドを替えて径を変える
ヘッド・テーブル
エアーフロート式ヘッド（Sylphide）
載せ方
ウェーハローダ付き、フルオート
終点検出
光学式（白色光源）
洗浄・乾燥
洗浄ユニット付き
価格
—公式資料で確認できず
プラテン・定盤
—公式資料で確認できず
ドレス
—公式資料で確認できず
装置寸法
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
用途
SiC・MEMS・マイクロLED・SAWフィルター
特長
低価格、小フットプリント

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

小型CMP装置 ChaMP211株式会社東京精密全自動CMP装置 MGP708XJミクロ技研株式会社CMP装置 SPP600S株式会社岡本工作機械製作所
種類量産用（全自動）量産用（全自動）研究開発用（手置き）
対応ウェーハ・試料2〜8インチ、研磨ヘッドを替えて径を変える—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ヘッド・テーブルエアーフロート式ヘッド（Sylphide）研磨ヘッド8軸、3テーブル表面基準・裏面基準の加圧方式
載せ方ウェーハローダ付き、フルオートロボットハンド（エッジクランプ）で搬送マニュアル
終点検出光学式（白色光源）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
洗浄・乾燥洗浄ユニット付き洗浄機とつないでドライアウト、ウェットアウトも選べる—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
プラテン・定盤—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ドレス—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず専用のドレッサー軸、ダイヤモンドドレッサーも使える
装置寸法—公式資料で確認できず2650D×3480W×2400H—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できずAC200・220V、三相、60kVA—公式資料で確認できず
用途SiC・MEMS・マイクロLED・SAWフィルター前工程で付いた形に関係なく平坦に磨く研究開発、データを全自動ポリッシャーPNX332Bへ転用
特長低価格、小フットプリントラップマスターSFT製LGP-708XJの後継機取り代10um以上でもウェハーの形を崩さない

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小型CMP装置 ChaMP211​のよくある質問

Q.小型CMP装置 ChaMP211はどんな人に向いている？
小型CMP装置 ChaMP211は、SiC・MEMSの試作から量産に使う人向けです。小型CMP装置 ChaMP211は、小型の本体にローダー・洗浄ユニット・光学式の終点検出まで載せたCMP装置です。
Q.小型CMP装置 ChaMP211の強みは？
小型CMP装置 ChaMP211は、2〜8インチの研磨ヘッドがあり、同じ本体で径の違うウェーハを磨けます。研究開発から試作・量産まで仕様を広げられます。
Q.小型CMP装置 ChaMP211はどんな方式？
小型CMP装置 ChaMP211の種類は量産用（全自動）⁠で⁠す⁠。ウェーハの出し入れをロボットやローダーに任せ、続けて磨く型です。
Q.小型CMP装置 ChaMP211の主な仕様は？
小型CMP装置 ChaMP211の対応ウェーハ・試料は2〜8インチ、研磨ヘッドを替えて径を変える、ヘッド・テーブルはエアーフロート式ヘッド（Sylphide）⁠で⁠す⁠。載せ方はウェーハローダ付き、フルオート、終点検出は光学式（白色光源）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.小型CMP装置 ChaMP211と全自動CMP装置 MGP708XJはどっちがいい？
SiC・MEMSの試作から量産なら小型CMP装置 ChaMP211、ウェーハの平坦度を上げる量産ならミクロ技研の全自動CMP装置 MGP708XJです。小型CMP装置 ChaMP211の対応ウェーハ・試料は2〜8インチ、研磨ヘッドを替えて径を変える、ヘッド・テーブルはエアーフロート式ヘッド（Sylphide）⁠で⁠す⁠。ミクロ技研の全自動CMP装置 MGP708XJのヘッド・テーブルは研磨ヘッド8軸、3テーブル、載せ方はロボットハンド（エッジクランプ）で搬送です。
Q.小型CMP装置 ChaMP211の洗浄・乾燥は？
小型CMP装置 ChaMP211の洗浄・乾燥は洗浄ユニット付きです。ミクロ技研の全自動CMP装置 MGP708XJの洗浄・乾燥は洗浄機とつないでドライアウト、ウェットアウトも選べる。
Q.小型CMP装置 ChaMP211の用途は？
小型CMP装置 ChaMP211の用途はSiC・MEMS・マイクロLED・SAWフィルターです。ミクロ技研の全自動CMP装置 MGP708XJの用途は前工程で付いた形に関係なく平坦に磨く。
Q.小型CMP装置 ChaMP211とCMP装置 SPP600Sはどっちがいい？
SiC・MEMSの試作から量産なら小型CMP装置 ChaMP211、量産機へ条件を移す研究開発なら岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sです。小型CMP装置 ChaMP211の対応ウェーハ・試料は2〜8インチ、研磨ヘッドを替えて径を変える、ヘッド・テーブルはエアーフロート式ヘッド（Sylphide）⁠で⁠す⁠。岡本工作機械製作所のCMP装置 SPP600Sのヘッド・テーブルは表面基準・裏面基準の加圧方式、載せ方はマニュアルです。
Q.小型CMP装置 ChaMP211のほかに東京精密のCMP装置はある？
あります。東京精密のCMP装置には、小型CMP装置 ChaMP211のほかにCMP装置 ChaMP332（対応ウェーハ・試料は300mm）があります。
Q.小型CMP装置 ChaMP211はどこのメーカー？
小型CMP装置 ChaMP211は株式会社東京精密の製品です。東京精密の主な製品分野はCMP装置・エアゲージ・表面粗さ測定器・三次元測定機です。

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    出典
    1. 株式会社東京精密 公式
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