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表面粗さ測定器非接触（光学式）

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex

株式会社東京精密

分解能0.01nmの白色干渉方式で、粗さを触れずに測る顕微鏡です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
非接触（光学式）
向いている所
触れずにナノの粗さを面で見る
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは、表面粗さ測定器のメーカー5社比較⁠の方式「非接触（光学式）」の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex​の強みと方式

白色干渉で、触れずに機械加工部品の粗さと形状を面で測ります。分解能は0.01nmで、細かい粗さから広い範囲のうねりまで見られます。ワークは30kgまで載せられます。

向いている所触れずにナノの粗さを面で見る

方式：非接触（光学式）

光で高さを読み、表面に触れずに粗さを測る型です。白色干渉式やポイントオートフォーカス式があり、面で凹凸を見られます。柔らかい物や傷を付けたくない物も測れます。

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex​の仕様

方式
非接触（光学式）
測り方
白色干渉式（非接触）
測定長（X方向）
—公式資料で確認できず
高さの測定範囲
—公式資料で確認できず
高さの分解能
0.01nm
測定力
非接触
質量
ワーク積載30kgまで
価格
—公式資料で確認できず
触針
なし（光で測る）
大きさ
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず

Opt-scopeシリーズの新しい型。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex株式会社東京精密3D表面プロファイラー Micro.View+Polytec Japan非接触三次元測定装置 PF-60三鷹光器株式会社
方式非接触（光学式）非接触（光学式）非接触（光学式）
測り方白色干渉式（非接触）白色干渉式（非接触）ポイントオートフォーカス式（非接触）
測定長（X方向）—公式資料で確認できずステージ200×200mm60mm
高さの測定範囲—公式資料で確認できずサンプル高さ370mmまで60mm
高さの分解能0.01nm0.01nm0.01μm（AF軸）
測定力非接触非接触非接触
質量ワーク積載30kgまで—公式資料で確認できず31kg
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
触針なし（光で測る）なし（光で測る）なし（レーザで測る）
大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず設置400mm×400mm
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

表面粗さ測定器の8製品を比較表で見る

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex​のよくある質問

Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexはどんな人に向いている？
3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは、触れずにナノの粗さを面で見る人向けです。3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは、白色干渉で、触れずに機械加工部品の粗さと形状を面で測ります。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの強みは？
3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの分解能は0.01nmで、細かい粗さから広い範囲のうねりまで見られます。ワークは30kgまで載せられます。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexはどんな方式？
3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの方式は非接触（光学式）⁠で⁠す⁠。光で高さを読み、表面に触れずに粗さを測る型です。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの主な仕様は？
3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの測り方は白色干渉式（非接触）、高さの分解能は0.01nmです。測定力は非接触、質量はワーク積載30kgまでです。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexと3D表面プロファイラー Micro.View+はどっちがいい？
触れずにナノの粗さを面で見るなら3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex、広い面の粗さを自動で並べて測るならPolytec Japanの3D表面プロファイラー Micro.View+です。3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの測り方は白色干渉式（非接触）、高さの分解能は0.01nmです。Polytec Japanの3D表面プロファイラー Micro.View+の測り方は白色干渉式（非接触）、測定長（X方向）はステージ200×200mmです。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの触針は？
3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの触針はなし（光で測る）⁠で⁠す⁠。Polytec Japanの3D表面プロファイラー Micro.View+の触針はなし（光で測る）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexと非接触三次元測定装置 PF-60はどっちがいい？
触れずにナノの粗さを面で見るなら3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex、柔らかい物や鏡面の粗さを測るなら三鷹光器の非接触三次元測定装置 PF-60です。3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの測り方は白色干渉式（非接触）、高さの分解能は0.01nmです。三鷹光器の非接触三次元測定装置 PF-60の測り方はポイントオートフォーカス式（非接触）、測定長（X方向）は60mmです。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexのほかに東京精密の表面粗さ測定器はある？
あります。東京精密の表面粗さ測定器には、3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexのほかに表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM NEX 031 DX2（測り方は触針式）があります。
Q.3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexはどこのメーカー？
3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは株式会社東京精密の製品です。東京精密の主な製品分野はCMP装置・エアゲージ・表面粗さ測定器・三次元測定機です。

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    出典
    1. 株式会社東京精密 公式
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