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レーザー干渉計フィゾー型（平面・球面）

レーザー干渉計 G102

富士フイルム株式会社

富士フイルムのフィゾー型干渉計で、直径102mmと150mmの平面測定システムがあります。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
フィゾー型（平面・球面）
向いている所
直径15〜150mmの平面を1台で
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

レーザー干渉計 G102は、レーザー干渉計のメーカー5社比較⁠の方式がフィゾー型（平面・球面）の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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レーザー干渉計 G102​の強みと方式

8.6倍のズームレンズを内蔵し、直径15mmの小物から150mmの平面板まで1台で測れます。コリメーターレンズを替えると最大直径150mmまで広がります。フォーカス・光量・アライメント切替・ズームは手元のリモコンで動かせます。

向いている所直径15〜150mmの平面を1台で

方式：フィゾー型（平面・球面）

基準面と測る面を向かい合わせ、2つの面で返ってきた光の干渉縞で面の形を見る型です。構成が簡単で、平面板やレンズの面精度の検査で広く使います。口径は直径60mmの小型から、直径300mm以上の大口径まであります。

レーザー干渉計 G102​の仕様

方式
フィゾー型（平面・球面）
干渉方式
フィゾー型
測定口径・範囲
直径102mm、直径150mm
光源・波長
He-Neレーザー、632.8nm
精度・感度
測定感度λ/2（0.3μm/縞）、基準面精度λ/20
測る物
平面板の平面度、透過波面
価格
—公式資料で確認できず
寸法
約305×365×765mm
質量
約56kg
電源
AC100V、2A
解析
—公式資料で確認できず
特長
8.6倍ズーム、直径15〜150mm、リモコン操作

裏面反射の影響を除く機能を持つG102S（6倍ズーム）もあります。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

レーザー干渉計 G102富士フイルム株式会社大口径表面形状測定器株式会社清原光学小型位相シフトレーザ干渉計株式会社清原光学
方式フィゾー型（平面・球面）フィゾー型（平面・球面）トワイマングリーン型（小口径・波面）
干渉方式フィゾー型フィゾー型、位相シフトトワイマングリーン型、位相シフト
測定口径・範囲直径102mm、直径150mm直径300〜600mm直径1〜6mm
光源・波長He-Neレーザー、632.8nm632.8nmレーザ半導体レーザ（410・635・670・780nm等）
精度・感度測定感度λ/2（0.3μm/縞）、基準面精度λ/20表面形状を0.1μm以上の精度で解析繰り返し精度λ/100以上
測る物平面板の平面度、透過波面大口径の表面形状小口径光学部品の透過波面、面形状
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法約305×365×765mm—公式資料で確認できず170×180×250mm
質量約56kg—公式資料で確認できず約5kg
電源AC100V、2A—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解析—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずIntelliWave KL2 Version
特長8.6倍ズーム、直径15〜150mm、リモコン操作振動に強い、1〜6倍ズーム付きピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵

レーザー干渉計の8製品を比較表で見る

レーザー干渉計 G102​のよくある質問

Q.レーザー干渉計 G102はどんな人に向いている？
レーザー干渉計 G102は、直径15〜150mmの平面を1台で使う人向けです。レーザー干渉計 G102は、8.6倍のズームレンズを内蔵し、直径15mmの小物から150mmの平面板まで1台で測れます。
Q.レーザー干渉計 G102の強みは？
レーザー干渉計 G102は、コリメーターレンズを替えると最大直径150mmまで広がります。フォーカス・光量・アライメント切替・ズームは手元のリモコンで動かせます。
Q.レーザー干渉計 G102はどんな方式？
レーザー干渉計 G102の方式はフィゾー型（平面・球面）⁠で⁠す⁠。基準面と測る面を向かい合わせ、2つの面で返ってきた光の干渉縞で面の形を見る型です。
Q.レーザー干渉計 G102の主な仕様は？
レーザー干渉計 G102の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径102mm、直径150mmです。光源・波長はHe-Neレーザー、632.8nm、精度・感度は測定感度λ/2（0.3μm/縞）、基準面精度λ/20です。
Q.レーザー干渉計 G102と大口径表面形状測定器はどっちがいい？
直径15〜150mmの平面を1台でならレーザー干渉計 G102、直径300mm以上の大きな平面なら清原光学の大口径表面形状測定器です。レーザー干渉計 G102の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径102mm、直径150mmです。清原光学の大口径表面形状測定器の干渉方式はフィゾー型、位相シフト、測定口径・範囲は直径300〜600mmです。
Q.レーザー干渉計 G102の質量は？
レーザー干渉計 G102の質量は約56kgです。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の質量は約5kgです。
Q.レーザー干渉計 G102の測る物は？
レーザー干渉計 G102の測る物は平面板の平面度、透過波面です。清原光学の大口径表面形状測定器の測る物は大口径の表面形状です。
Q.レーザー干渉計 G102と小型位相シフトレーザ干渉計はどっちがいい？
直径15〜150mmの平面を1台でならレーザー干渉計 G102、直径1〜6mmの小さなレンズの波面なら清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計です。レーザー干渉計 G102の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径102mm、直径150mmです。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト、測定口径・範囲は直径1〜6mmです。
Q.レーザー干渉計 G102のほかに富士フイルムのレーザー干渉計はある？
あります。富士フイルムのレーザー干渉計には、レーザー干渉計 G102のほかにコンパクトレーザー干渉計 F601（干渉方式はフィゾー型）があります。
Q.レーザー干渉計 G102はどこのメーカー？
レーザー干渉計 G102は富士フイルム株式会社の製品です。富士フイルムの主な製品分野はレーザー干渉計・業務用プロジェクター・フォトレジストです。

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    出典
    1. 富士フイルム株式会社 公式
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