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レーザー干渉計トワイマングリーン型（小口径・波面）

デジタルレーザー干渉計 μPhase

トライオプティクス・ジャパン株式会社

トライオプティクスのモジュラー型の位相シフトレーザー干渉計です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
トワイマングリーン型（小口径・波面）
向いている所
加工機や組立台に組み込む
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比較表での位置

デジタルレーザー干渉計 μPhaseは、レーザー干渉計のメーカー5社比較の方式がトワイマングリーン型（小口径・波面）の2製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
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  • 2製品同じ方式
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デジタルレーザー干渉計 μPhase​の強みと方式

本体が110×45×70mmと小さく、加工機や組立台に組み込んで使える位相シフト干渉計です。口径変換レンズで最大直径150mmの平面・球面・透過波面を測れます。波長は632.8nmが標準で、355〜1064nmの光源も選べます。

向いている所加工機や組立台に組み込む

方式：トワイマングリーン型（小口径・波面）

光を2つに分け、基準の鏡と測る物で返った光を重ねる型です。小さなレンズや光学窓の透過波面を測るのに向きます。本体を小さく作れるので、加工機や検査台に組み込む使い方もあります。

デジタルレーザー干渉計 μPhase​の仕様

方式
トワイマングリーン型（小口径・波面）
干渉方式
トワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフト
測定口径・範囲
最大直径150mm（口径変換レンズ使用）
光源・波長
632.8nm標準、355〜1064nm
精度・感度
—公式資料で確認できず
測る物
平面反射、球面反射、透過波面
価格
—公式資料で確認できず
寸法
110×45×70mm
質量
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
解析
μShape、1000×1000画素・500×500画素
特長
加工機への組込み、モジュラー型

ドイツのTRIOPTICS本社で作り、日本法人のトライオプティクス・ジャパンが売っています。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

デジタルレーザー干渉計 μPhaseトライオプティクス・ジャパン株式会社小型位相シフトレーザ干渉計株式会社清原光学フラットネステスター FT-17株式会社ニデック
方式トワイマングリーン型（小口径・波面）トワイマングリーン型（小口径・波面）斜入射型（ウェーハ・粗面）
干渉方式トワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフトトワイマングリーン型、位相シフト斜入射干渉、位相シフト
測定口径・範囲最大直径150mm（口径変換レンズ使用）直径1〜6mm外径直径130mm以下（平坦度は直径100mm以下）
光源・波長632.8nm標準、355〜1064nm半導体レーザ（410・635・670・780nm等）—公式資料で確認できず
精度・感度—公式資料で確認できず繰り返し精度λ/100以上—公式資料で確認できず
測る物平面反射、球面反射、透過波面小口径光学部品の透過波面、面形状半導体用ウェーハ、HDD用磁気ディスク、金属片
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法110×45×70mm170×180×250mm—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず約5kg—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解析μShape、1000×1000画素・500×500画素IntelliWave KL2 Version専用解析装置、等高線図・鳥瞰図・断面図
特長加工機への組込み、モジュラー型ピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵透明体の裏面干渉を低減、キャリブレーション不要

レーザー干渉計の8製品を比較表で見る

デジタルレーザー干渉計 μPhase​のよくある質問

Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseはどんな人に向いている？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseは、加工機や組立台に組み込む人向けです。デジタルレーザー干渉計 μPhaseは、本体が110×45×70mmと小さく、加工機や組立台に組み込んで使える位相シフト干渉計です。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseの強みは？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseは、口径変換レンズで最大直径150mmの平面・球面・透過波面を測れます。波長は632.8nmが標準で、355〜1064nmの光源も選べます。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseはどんな方式？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseの方式はトワイマングリーン型（小口径・波面）です。光を2つに分け、基準の鏡と測る物で返った光を重ねる型です。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseの主な仕様は？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseの干渉方式はトワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフト、測定口径・範囲は最大直径150mm（口径変換レンズ使用）⁠で⁠す⁠。光源・波長は632.8nm標準、355〜1064nm、測る物は平面反射、球面反射、透過波面です。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseと小型位相シフトレーザ干渉計はどっちがいい？
加工機や組立台に組み込むならデジタルレーザー干渉計 μPhase、直径1〜6mmの小さなレンズの波面なら清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計です。デジタルレーザー干渉計 μPhaseの干渉方式はトワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフト、測定口径・範囲は最大直径150mm（口径変換レンズ使用）⁠で⁠す⁠。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト、測定口径・範囲は直径1〜6mmです。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseの寸法は？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseの寸法は110×45×70mmです。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の寸法は170×180×250mmです。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseの解析は？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseの解析はμShape、1000×1000画素・500×500画素です。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の解析はIntelliWave KL2 Versionです。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseの特長は？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseの特長は加工機への組込み、モジュラー型です。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の特長はピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵です。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseとフラットネステスター FT-17はどっちがいい？
加工機や組立台に組み込むならデジタルレーザー干渉計 μPhase、直径100mm以下の平坦度の検査ならニデックのフラットネステスター FT-17です。デジタルレーザー干渉計 μPhaseの干渉方式はトワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフト、測定口径・範囲は最大直径150mm（口径変換レンズ使用）⁠で⁠す⁠。ニデックのフラットネステスター FT-17の干渉方式は斜入射干渉、位相シフト、測定口径・範囲は外径直径130mm以下（平坦度は直径100mm以下）で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.デジタルレーザー干渉計 μPhaseはどこのメーカー？
デジタルレーザー干渉計 μPhaseはトライオプティクス・ジャパン株式会社の製品です。トライオプティクス・ジャパンの主な製品分野はレーザー干渉計です。

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