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レーザー干渉計斜入射型（ウェーハ・粗面）

フラットネステスター FT-900

株式会社ニデック

ニデックの斜入射干渉法フラットネステスターで、外径200mm以下を測ります。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
斜入射型（ウェーハ・粗面）
向いている所
ウェーハや粗面の平坦度
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

フラットネステスター FT-900は、レーザー干渉計のメーカー5社比較⁠の方式が斜入射型（ウェーハ・粗面）の2製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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フラットネステスター FT-900​の強みと方式

レーザー光を斜めに当てて干渉縞を作るので、鏡面だけでなく粗面や穴あき、透明体の平坦度も測れます。外径直径200mm以下のウェーハや角型の板を、全面一括で短時間に測ります。透明体の厚さむらは、オプションのソフトで解析します。

向いている所ウェーハや粗面の平坦度

方式：斜入射型（ウェーハ・粗面）

レーザー光を面に斜めに当てて干渉縞を作る型です。鏡面でない粗い面や、穴あき・透明な物の平坦度も測れます。半導体ウェーハや磁気ディスクの平坦度の検査で使います。

フラットネステスター FT-900​の仕様

方式
斜入射型（ウェーハ・粗面）
干渉方式
斜入射干渉、位相シフト
測定口径・範囲
外径直径200mm以下
光源・波長
—公式資料で確認できず
精度・感度
—公式資料で確認できず
測る物
半導体ウェーハ、HDD用磁気ディスク、金属片
価格
—公式資料で確認できず
寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
解析
専用解析装置、等高線図・鳥瞰図・断面図
特長
透明体の裏面干渉を低減、キャリブレーション不要

ウェーハ用のバキュームチャックでGBIR（TTV）も測れます。仕様の詳細は公式ページの画像にあり、文字で確かめられた値だけ載せています。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

フラットネステスター FT-900株式会社ニデックレーザー干渉計システム XL-80レニショー株式会社大口径表面形状測定器株式会社清原光学
方式斜入射型（ウェーハ・粗面）測長用（機械の校正）フィゾー型（平面・球面）
干渉方式斜入射干渉、位相シフト測長用レーザー干渉計フィゾー型、位相シフト
測定口径・範囲外径直径200mm以下位置決め測定80mまで直径300〜600mm
光源・波長—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず632.8nmレーザ
精度・感度—公式資料で確認できず位置決め測定精度±0.5ppm表面形状を0.1μm以上の精度で解析
測る物半導体ウェーハ、HDD用磁気ディスク、金属片工作機械・三次元測定機の位置決め、角度、真直度、直角度大口径の表面形状
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できずケース込み12kg—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解析専用解析装置、等高線図・鳥瞰図・断面図50kHz・最大4m/s、分解能1nm—公式資料で確認できず
特長透明体の裏面干渉を低減、キャリブレーション不要XC-80環境補正ユニット、保証3年振動に強い、1〜6倍ズーム付き

レーザー干渉計の8製品を比較表で見る

フラットネステスター FT-900​のよくある質問

Q.フラットネステスター FT-900はどんな人に向いている？
フラットネステスター FT-900は、ウェーハや粗面の平坦度に使う人向けです。フラットネステスター FT-900は、レーザー光を斜めに当てて干渉縞を作るので、鏡面だけでなく粗面や穴あき、透明体の平坦度も測れます。
Q.フラットネステスター FT-900の強みは？
フラットネステスター FT-900は、外径直径200mm以下のウェーハや角型の板を、全面一括で短時間に測ります。透明体の厚さむらは、オプションのソフトで解析します。
Q.フラットネステスター FT-900はどんな方式？
フラットネステスター FT-900の方式は斜入射型（ウェーハ・粗面）⁠で⁠す⁠。レーザー光を面に斜めに当てて干渉縞を作る型です。
Q.フラットネステスター FT-900の主な仕様は？
フラットネステスター FT-900の干渉方式は斜入射干渉、位相シフト、測定口径・範囲は外径直径200mm以下です。測る物は半導体ウェーハ、HDD用磁気ディスク、金属片、解析は専用解析装置、等高線図・鳥瞰図・断面図です。
Q.フラットネステスター FT-900とレーザー干渉計システム XL-80はどっちがいい？
ウェーハや粗面の平坦度ならフラットネステスター FT-900、工作機械の位置決め精度の校正ならレニショーのレーザー干渉計システム XL-80です。フラットネステスター FT-900の干渉方式は斜入射干渉、位相シフト、測定口径・範囲は外径直径200mm以下です。レニショーのレーザー干渉計システム XL-80の干渉方式は測長用レーザー干渉計、測定口径・範囲は位置決め測定80mまでです。
Q.フラットネステスター FT-900の特長は？
フラットネステスター FT-900の特長は透明体の裏面干渉を低減、キャリブレーション不要です。レニショーのレーザー干渉計システム XL-80の特長はXC-80環境補正ユニット、保証3年です。
Q.フラットネステスター FT-900と大口径表面形状測定器はどっちがいい？
ウェーハや粗面の平坦度ならフラットネステスター FT-900、直径300mm以上の大きな平面なら清原光学の大口径表面形状測定器です。フラットネステスター FT-900の干渉方式は斜入射干渉、位相シフト、測定口径・範囲は外径直径200mm以下です。清原光学の大口径表面形状測定器の干渉方式はフィゾー型、位相シフト、測定口径・範囲は直径300〜600mmです。
Q.フラットネステスター FT-900のほかにニデックのレーザー干渉計はある？
あります。ニデックのレーザー干渉計には、フラットネステスター FT-900のほかにフラットネステスター FT-17（干渉方式は斜入射干渉、位相シフト）があります。
Q.フラットネステスター FT-900はどこのメーカー？
フラットネステスター FT-900は株式会社ニデックの製品です。ニデックの主な製品分野はレーザー干渉計です。

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