レーザー干渉計のメーカー5社比較【2026年】

このページの8製品は、どれも値段を公式に出していません。富士フイルムのG102は防振台・液晶モニター・低反射基準板とのセット販売なので、構成を決めてから見積もりを取ります。

光の当て方と測る物で4つに分かれます。平面や球面を基準面と比べるフィゾー型、小さな光学部品の透過波面に強いトワイマングリーン型、ウェーハや粗面を測る斜入射型、工作機械の位置決めを測る測長用です。

フィゾー型は基準面と測る面を向かい合わせる型で、富士フイルムのF601やG102のように平面板の検査で広く使います。トワイマングリーン型は光を2つに分ける型で、清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計は直径1〜6mmの小さな光学部品の透過波面を測ります。

測る面より大きな光束の型を選びます。富士フイルムのF601は直径60mm、G102は直径102mmと150mm、清原光学の大口径表面形状測定器は直径300〜600mmです。トライオプティクスのμPhaseは口径変換レンズで最大直径150mmまで広げられます。

富士フイルムのF601とG102は測定感度λ/2（0.3μm/縞）、基準面精度λ/20です。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計は繰り返し精度λ/100以上です。測長用のレニショーXL-80は、位置決め測定精度±0.5ppm、分解能1nmです。

面を測る型の多くは、He-Neレーザーの632.8nmを使います。富士フイルムのF601とG102は632.8nmです。トライオプティクスのμPhaseは632.8nmが標準で、355〜1064nmも選べます。清原光学の小型の型は410・635・670・780nmなどの半導体レーザです。

鏡面でない面や透明なウェーハは、光を斜めに当てる斜入射型で測ります。ニデックのFT-900は外径直径200mm以下、FT-17は外径直径130mm以下（平坦度は直径100mm以下）を測れます。透明体の裏面の干渉を減らして測ることもできます。

測長用の干渉計を機械のそばに据えて測ります。レニショーのXL-80は位置決め測定が80mまでで、角度・真直度・直角度もCARTOソフトウェアで解析します。ケースにXC-80環境補正ユニットとまとめると12kgで、持ち運べます。

振動と空気の揺らぎで縞が乱れるので、防振台に置くのが基本です。富士フイルムのG102は防振台が標準の構成品です。清原光学の大口径表面形状測定器は瞬間位相シフトの干渉計を使うので、振動に強い作りです。

富士フイルムのF601は、反射率が約0.1%の低い被検体向けに、超低反射測定用に改造できます。富士フイルムの干渉計は、研磨した鏡面なら材質によらずほとんど非接触で測れます。

レニショーは、XL-80の推奨校正期間を通常環境下で3年としています。レーザー周波数確度は3年間にわたって±0.05ppmを保ちます。面を測る型は、基準面（基準板）の精度が測定の基準です。