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レーザー干渉計トワイマングリーン型（小口径・波面）

小型位相シフトレーザ干渉計

株式会社清原光学

清原光学のトワイマングリーン型の小型位相シフト干渉計です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
トワイマングリーン型（小口径・波面）
向いている所
直径1〜6mmの小さなレンズの波面
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

小型位相シフトレーザ干渉計は、レーザー干渉計のメーカー5社比較の方式がトワイマングリーン型（小口径・波面）の2製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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小型位相シフトレーザ干渉計の強みと方式

直径1〜6mmの小さな光学部品の透過波面と面形状を測る、トワイマングリーン型の干渉計です。ピックアップレンズ・位相板・光学窓の評価に使い、繰り返し精度はλ/100以上です。ピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵し、製造現場の検査に置けます。

向いている所直径1〜6mmの小さなレンズの波面

方式：トワイマングリーン型（小口径・波面）

光を2つに分け、基準の鏡と測る物で返った光を重ねる型です。小さなレンズや光学窓の透過波面を測るのに向きます。本体を小さく作れるので、加工機や検査台に組み込む使い方もあります。

小型位相シフトレーザ干渉計の仕様

方式
トワイマングリーン型（小口径・波面）
干渉方式
トワイマングリーン型、位相シフト
測定口径・範囲
直径1〜6mm
光源・波長
半導体レーザ（410・635・670・780nm等）
精度・感度
繰り返し精度λ/100以上
測る物
小口径光学部品の透過波面、面形状
価格
—公式資料で確認できず
寸法
170×180×250mm
質量
約5kg
電源
—公式資料で確認できず
解析
IntelliWave KL2 Version
特長
ピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵

型式の表記は公式ページにありません。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

小型位相シフトレーザ干渉計株式会社清原光学デジタルレーザー干渉計 μPhaseトライオプティクス・ジャパン株式会社フラットネステスター FT-17株式会社ニデック
方式トワイマングリーン型（小口径・波面）トワイマングリーン型（小口径・波面）斜入射型（ウェーハ・粗面）
干渉方式トワイマングリーン型、位相シフトトワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフト斜入射干渉、位相シフト
測定口径・範囲直径1〜6mm最大直径150mm（口径変換レンズ使用）外径直径130mm以下（平坦度は直径100mm以下）
光源・波長半導体レーザ（410・635・670・780nm等）632.8nm標準、355〜1064nm—公式資料で確認できず
精度・感度繰り返し精度λ/100以上—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
測る物小口径光学部品の透過波面、面形状平面反射、球面反射、透過波面半導体用ウェーハ、HDD用磁気ディスク、金属片
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法170×180×250mm110×45×70mm—公式資料で確認できず
質量約5kg—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解析IntelliWave KL2 VersionμShape、1000×1000画素・500×500画素専用解析装置、等高線図・鳥瞰図・断面図
特長ピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵加工機への組込み、モジュラー型透明体の裏面干渉を低減、キャリブレーション不要

レーザー干渉計の8製品を比較表で見る

小型位相シフトレーザ干渉計のよくある質問

Q.小型位相シフトレーザ干渉計はどんな人に向いている？
小型位相シフトレーザ干渉計は、直径1〜6mmの小さなレンズの波面に使う人向けです。小型位相シフトレーザ干渉計は、直径1〜6mmの小さな光学部品の透過波面と面形状を測る、トワイマングリーン型の干渉計です。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計の強みは？
小型位相シフトレーザ干渉計は、ピックアップレンズ・位相板・光学窓の評価に使い、繰り返し精度はλ/100以上です。ピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵し、製造現場の検査に置けます。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計はどんな方式？
小型位相シフトレーザ干渉計の方式はトワイマングリーン型（小口径・波面）です。光を2つに分け、基準の鏡と測る物で返った光を重ねる型です。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計の主な仕様は？
小型位相シフトレーザ干渉計の干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト、測定口径・範囲は直径1〜6mmです。光源・波長は半導体レーザ（410・635・670・780nm等）、精度・感度は繰り返し精度λ/100以上です。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計とデジタルレーザー干渉計 μPhaseはどっちがいい？
直径1〜6mmの小さなレンズの波面なら小型位相シフトレーザ干渉計、加工機や組立台に組み込むならトライオプティクス・ジャパンのデジタルレーザー干渉計 μPhaseです。小型位相シフトレーザ干渉計の干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト、測定口径・範囲は直径1〜6mmです。トライオプティクス・ジャパンのデジタルレーザー干渉計 μPhaseの干渉方式はトワイマングリーン型（フィゾーへ切換可能）、位相シフト、測定口径・範囲は最大直径150mm（口径変換レンズ使用）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計の質量は？
小型位相シフトレーザ干渉計の質量は約5kgです。レニショーのレーザー干渉計システム XL-80の質量はケース込み12kgです。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計の測る物は？
小型位相シフトレーザ干渉計の測る物は小口径光学部品の透過波面、面形状です。トライオプティクス・ジャパンのデジタルレーザー干渉計 μPhaseの測る物は平面反射、球面反射、透過波面です。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計とフラットネステスター FT-17はどっちがいい？
直径1〜6mmの小さなレンズの波面なら小型位相シフトレーザ干渉計、直径100mm以下の平坦度の検査ならニデックのフラットネステスター FT-17です。小型位相シフトレーザ干渉計の干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト、測定口径・範囲は直径1〜6mmです。ニデックのフラットネステスター FT-17の干渉方式は斜入射干渉、位相シフト、測定口径・範囲は外径直径130mm以下（平坦度は直径100mm以下）で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計のほかに清原光学のレーザー干渉計はある？
あります。清原光学のレーザー干渉計には、小型位相シフトレーザ干渉計のほかに大口径表面形状測定器（干渉方式はフィゾー型、位相シフト）があります。
Q.小型位相シフトレーザ干渉計はどこのメーカー？
小型位相シフトレーザ干渉計は株式会社清原光学の製品です。東京都板橋区に本社と研究所を置き、光学部品の設計・加工・製造とレーザー干渉計の設計・製作をしています。

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