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レーザー干渉計フィゾー型（平面・球面）

大口径表面形状測定器

株式会社清原光学

清原光学のフィゾー型の大口径表面形状測定器です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
フィゾー型（平面・球面）
向いている所
直径300mm以上の大きな平面
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

大口径表面形状測定器は、レーザー干渉計のメーカー5社比較⁠の方式がフィゾー型（平面・球面）の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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大口径表面形状測定器の強みと方式

直径300〜600mmの大きな面を一度に測る、フィゾー型の干渉計です。瞬間位相シフトの干渉計を使うので振動に強く、1〜6倍のズームも付いています。600mmより大きい口径は個別に相談します。

向いている所直径300mm以上の大きな平面

方式：フィゾー型（平面・球面）

基準面と測る面を向かい合わせ、2つの面で返ってきた光の干渉縞で面の形を見る型です。構成が簡単で、平面板やレンズの面精度の検査で広く使います。口径は直径60mmの小型から、直径300mm以上の大口径まであります。

大口径表面形状測定器の仕様

方式
フィゾー型（平面・球面）
干渉方式
フィゾー型、位相シフト
測定口径・範囲
直径300〜600mm
光源・波長
632.8nmレーザ
精度・感度
表面形状を0.1μm以上の精度で解析
測る物
大口径の表面形状
価格
—公式資料で確認できず
寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
解析
—公式資料で確認できず
特長
振動に強い、1〜6倍ズーム付き

型式の表記は公式ページにありません。口径は注文に合わせて作ります。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

大口径表面形状測定器株式会社清原光学コンパクトレーザー干渉計 F601富士フイルム株式会社レーザー干渉計 G102富士フイルム株式会社
方式フィゾー型（平面・球面）フィゾー型（平面・球面）フィゾー型（平面・球面）
干渉方式フィゾー型、位相シフトフィゾー型フィゾー型
測定口径・範囲直径300〜600mm直径60mm直径102mm、直径150mm
光源・波長632.8nmレーザHe-Neレーザー、632.8nmHe-Neレーザー、632.8nm
精度・感度表面形状を0.1μm以上の精度で解析測定感度λ/2（0.3μm/縞）、基準面精度λ/20測定感度λ/2（0.3μm/縞）、基準面精度λ/20
測る物大口径の表面形状平面板の平面度、透過波面平面板の平面度、透過波面
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法—公式資料で確認できず約300×320×590mm約305×365×765mm
質量—公式資料で確認できず約30kg約56kg
電源—公式資料で確認できずAC100V、1AAC100V、2A
解析—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長振動に強い、1〜6倍ズーム付きビームコンプレッサ併用で直径5〜25mm程度、超低反射測定用に改造可8.6倍ズーム、直径15〜150mm、リモコン操作

レーザー干渉計の8製品を比較表で見る

大口径表面形状測定器のよくある質問

Q.大口径表面形状測定器はどんな人に向いている？
大口径表面形状測定器は、直径300mm以上の大きな平面に使う人向けです。大口径表面形状測定器は、直径300〜600mmの大きな面を一度に測る、フィゾー型の干渉計です。
Q.大口径表面形状測定器の強みは？
大口径表面形状測定器は、瞬間位相シフトの干渉計を使うので振動に強く、1〜6倍のズームも付いています。600mmより大きい口径は個別に相談します。
Q.大口径表面形状測定器はどんな方式？
大口径表面形状測定器の方式はフィゾー型（平面・球面）⁠で⁠す⁠。基準面と測る面を向かい合わせ、2つの面で返ってきた光の干渉縞で面の形を見る型です。
Q.大口径表面形状測定器の主な仕様は？
大口径表面形状測定器の干渉方式はフィゾー型、位相シフト、測定口径・範囲は直径300〜600mmです。光源・波長は632.8nmレーザ、精度・感度は表面形状を0.1μm以上の精度で解析です。
Q.大口径表面形状測定器とコンパクトレーザー干渉計 F601はどっちがいい？
直径300mm以上の大きな平面なら大口径表面形状測定器、直径60mmまでの平面板の検査なら富士フイルムのコンパクトレーザー干渉計 F601です。大口径表面形状測定器の干渉方式はフィゾー型、位相シフト、測定口径・範囲は直径300〜600mmです。富士フイルムのコンパクトレーザー干渉計 F601の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径60mmです。
Q.大口径表面形状測定器の測る物は？
大口径表面形状測定器の測る物は大口径の表面形状です。富士フイルムのコンパクトレーザー干渉計 F601の測る物は平面板の平面度、透過波面です。
Q.大口径表面形状測定器の特長は？
大口径表面形状測定器の特長は振動に強い、1〜6倍ズーム付きです。富士フイルムのコンパクトレーザー干渉計 F601の特長はビームコンプレッサ併用で直径5〜25mm程度、超低反射測定用に改造可です。
Q.大口径表面形状測定器とレーザー干渉計 G102はどっちがいい？
直径300mm以上の大きな平面なら大口径表面形状測定器、直径15〜150mmの平面を1台でなら富士フイルムのレーザー干渉計 G102です。大口径表面形状測定器の干渉方式はフィゾー型、位相シフト、測定口径・範囲は直径300〜600mmです。富士フイルムのレーザー干渉計 G102の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径102mm、直径150mmです。
Q.大口径表面形状測定器のほかに清原光学のレーザー干渉計はある？
あります。清原光学のレーザー干渉計には、大口径表面形状測定器のほかに小型位相シフトレーザ干渉計（干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト）があります。
Q.大口径表面形状測定器はどこのメーカー？
大口径表面形状測定器は株式会社清原光学の製品です。東京都板橋区に本社と研究所を置き、光学部品の設計・加工・製造とレーザー干渉計の設計・製作をしています。

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