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レーザー干渉計フィゾー型(平面・球面)

コンパクトレーザー干渉計 F601

富士フイルム株式会社

富士フイルムのフィゾー型の小型干渉計で、直径60mmの平面板を測ります。

価格
公開価格なし(見積もり)
方式
フィゾー型(平面・球面)
向いている所
直径60mmまでの平面板の検査

比較表での位置

コンパクトレーザー干渉計 F601は、レーザー干渉計のメーカー5社比較⁠の方式がフィゾー型(平面・球面)の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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コンパクトレーザー干渉計 F601​の強みと方式

直径60mmの光で平面板の平面度と透過波面を見る、机に置ける小型の干渉計です。2倍のビームコンプレッサを付けると、直径5〜25mm程度の小さな部品も測れます。反射率の低い物を測るなら、超低反射測定用に改造できます。

向いている所直径60mmまでの平面板の検査

方式:フィゾー型(平面・球面)

基準面と測る面を向かい合わせ、2つの面で返ってきた光の干渉縞で面の形を見る型です。構成が簡単で、平面板やレンズの面精度の検査で広く使います。口径は直径60mmの小型から、直径300mm以上の大口径まであります。

コンパクトレーザー干渉計 F601​の仕様

方式
フィゾー型(平面・球面)
干渉方式
フィゾー型
測定口径・範囲
直径60mm
光源・波長
He-Neレーザー、632.8nm
精度・感度
測定感度λ/2(0.3μm/縞)、基準面精度λ/20
測る物
平面板の平面度、透過波面
価格
—公式資料で確認できず
寸法
約300×320×590mm
質量
約30kg
電源
AC100V、1A
解析
—公式資料で確認できず
特長
ビームコンプレッサ併用で直径5〜25mm程度、超低反射測定用に改造可

球面測定用のF601、量産ライン向けのニュートン縞検査装置F601FCIIもあります。縞の数値化は縞解析装置A1と組み合わせます。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

コンパクトレーザー干渉計 F601富士フイルム株式会社大口径表面形状測定器株式会社清原光学小型位相シフトレーザ干渉計株式会社清原光学
方式フィゾー型(平面・球面)フィゾー型(平面・球面)トワイマングリーン型(小口径・波面)
干渉方式フィゾー型フィゾー型、位相シフトトワイマングリーン型、位相シフト
測定口径・範囲直径60mm直径300〜600mm直径1〜6mm
光源・波長He-Neレーザー、632.8nm632.8nmレーザ半導体レーザ(410・635・670・780nm等)
精度・感度測定感度λ/2(0.3μm/縞)、基準面精度λ/20表面形状を0.1μm以上の精度で解析繰り返し精度λ/100以上
測る物平面板の平面度、透過波面大口径の表面形状小口径光学部品の透過波面、面形状
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法約300×320×590mm—公式資料で確認できず170×180×250mm
質量約30kg—公式資料で確認できず約5kg
電源AC100V、1A—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
解析—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずIntelliWave KL2 Version
特長ビームコンプレッサ併用で直径5〜25mm程度、超低反射測定用に改造可振動に強い、1〜6倍ズーム付きピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵

レーザー干渉計の8製品を比較表で見る

コンパクトレーザー干渉計 F601​のよくある質問

Q.コンパクトレーザー干渉計 F601はどんな人に向いている?
コンパクトレーザー干渉計 F601は、直径60mmまでの平面板の検査に使う人向けです。コンパクトレーザー干渉計 F601は、直径60mmの光で平面板の平面度と透過波面を見る、机に置ける小型の干渉計です。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601の強みは?
コンパクトレーザー干渉計 F601は、2倍のビームコンプレッサを付けると、直径5〜25mm程度の小さな部品も測れます。反射率の低い物を測るなら、超低反射測定用に改造できます。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601はどんな方式?
コンパクトレーザー干渉計 F601の方式はフィゾー型(平面・球面)⁠で⁠す⁠。基準面と測る面を向かい合わせ、2つの面で返ってきた光の干渉縞で面の形を見る型です。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601の主な仕様は?
コンパクトレーザー干渉計 F601の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径60mmです。光源・波長はHe-Neレーザー、632.8nm、精度・感度は測定感度λ/2(0.3μm/縞)、基準面精度λ/20です。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601と大口径表面形状測定器はどっちがいい?
直径60mmまでの平面板の検査ならコンパクトレーザー干渉計 F601、直径300mm以上の大きな平面なら清原光学の大口径表面形状測定器です。コンパクトレーザー干渉計 F601の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径60mmです。清原光学の大口径表面形状測定器の干渉方式はフィゾー型、位相シフト、測定口径・範囲は直径300〜600mmです。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601の質量は?
コンパクトレーザー干渉計 F601の質量は約30kgです。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の質量は約5kgです。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601の測る物は?
コンパクトレーザー干渉計 F601の測る物は平面板の平面度、透過波面です。清原光学の大口径表面形状測定器の測る物は大口径の表面形状です。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601と小型位相シフトレーザ干渉計はどっちがいい?
直径60mmまでの平面板の検査ならコンパクトレーザー干渉計 F601、直径1〜6mmの小さなレンズの波面なら清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計です。コンパクトレーザー干渉計 F601の干渉方式はフィゾー型、測定口径・範囲は直径60mmです。清原光学の小型位相シフトレーザ干渉計の干渉方式はトワイマングリーン型、位相シフト、測定口径・範囲は直径1〜6mmです。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601のほかに富士フイルムのレーザー干渉計はある?
あります。富士フイルムのレーザー干渉計には、コンパクトレーザー干渉計 F601のほかにレーザー干渉計 G102(干渉方式はフィゾー型)があります。
Q.コンパクトレーザー干渉計 F601はどこのメーカー?
コンパクトレーザー干渉計 F601は富士フイルム株式会社の製品です。富士フイルムの主な製品分野はレーザー干渉計・業務用プロジェクター・フォトレジストです。

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