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PHOTORESIST / MZ-35363

i線用レジスト OiR 620シリーズ富士フイルム株式会社

非反射基板で350nm未満のCDを作るi線用レジストです。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所：i線で350nm未満の線幅

種類
半導体の回路用（g線〜EUV）
ポジ・⁠⁠⁠ネガ
—公式資料で確認できず
露光
i線
形
—公式資料で確認できず
膜厚
—公式資料で確認できず
解像度
CD 350nm未満
現像液
—公式資料で確認できず
用途
非反射基板のクリティカルCDのパターン
価格
—公式資料で確認できず
露光量
—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

i線・g線・広帯域のシリーズは0.30μm以下から1.0μmを超える解像度まであります。

口コミ

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出典（2026年10月29日確認）

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