永久膜用ドライフィルムレジスト SU-8 3000CF DFR日本化薬株式会社

仕様

向いている所：MEMS・中空構造の壁やふた

種類

厚膜・めっき・MEMS用

ポジ・⁠⁠⁠ネガ

ネガ型

露光

i線（⁠365nm⁠）

形

ドライフィルム

膜厚

20、30、45μm

解像度

膜厚20μmでアスペクト比3以上

現像液

PGMEA（溶剤現像）

用途

MEMS、SAW・BAWフィルター、半導体パッケージ

価格

—公式資料で確認できず

露光量

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

保管は冷蔵（15℃以下）、保証期間は9か月。ロール丈25m。

同じ分類のほかの型番

フォトレジストの13製品を比較表で見る