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PHOTORESIST / MZ-35370

感光性フィルム Photec RY-5107UT株式会社レゾナック

パッケージ基板の微細回路用の感光性フィルム（ドライフィルムレジスト）で⁠⁠⁠⁠す⁠。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所：パッケージ基板の微細な回路

種類
基板の回路用ドライフィルム
ポジ・⁠⁠⁠ネガ
—公式資料で確認できず
露光
i線（投影露光機）
形
感光性フィルム
膜厚
7μm
解像度
L/S 4μm以下
現像液
1.0wt% 炭酸ナトリウム水溶液
用途
パッケージ基板の微細回路（セミアディティブ工法）
価格
—公式資料で確認できず
露光量
200mJ/cm²

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

値は公式の測定の一例。同じRYシリーズに膜厚10μmのRY-5110UT、25μmのRY-5825があります。

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出典（2026年10月29日確認）

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