フォトレジスト SEPR・SAIL・SEVRシリーズ信越化学工業株式会社

仕様

向いている所：i線からEUVまでの半導体工程

種類

半導体の回路用（g線〜EUV）

ポジ・⁠⁠⁠ネガ

—公式資料で確認できず

露光

i線、KrF、ArF、EUV

形

—公式資料で確認できず

膜厚

—公式資料で確認できず

解像度

—公式資料で確認できず

現像液

—公式資料で確認できず

用途

半導体製造工程、磁気ヘッド製造工程

価格

—公式資料で確認できず

露光量

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

公式ページのシリーズ名はSIPR・SEPR・SAIL・SEVR・SHB・ODL。品番ごとの仕様は公開されていません。

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