GUIDE / LASER-INTERFEROMETER

レーザー干渉計とは？平面度・透過波面・位置決めを測るレーザー干渉計の種類（フィゾー型・トワイマングリーン型・斜入射型・測長用）と、測定口径・波長・精度の選び方

レンズ・平面板・ウェーハの面の形や透過波面、工作機械の位置決めを測るレーザー干渉計の4つの種類、フィゾー型とトワイマングリーン型の違い、測定口径・波長・精度、ウェーハの平坦度、振動と校正の注意を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年11月5日更新

この記事の答え

レーザー干渉計は、レーザー光の干渉縞で、面の形や長さをナノメートル単位で測る測定機です。面を測るフィゾー型・トワイマングリーン型・斜入射型と、機械の動いた長さを測る測長用に分かれます。選ぶときは「何を測るか」「測る面の大きさ」「鏡面か粗面か」の3つを先に決めます。

レーザー干渉計とは

レーザー干渉計は、基準になる光と、測る物で返ってきた光を重ねてできる干渉縞から、面の凹凸や長さを読む測定機です。レンズ・平面板・ミラーの面精度の検査から、工作機械や三次元測定機の位置決めの校正まで使います。

比較ページには、自社またはグループで作るレーザー干渉計を、各社の代表の型の単位で載せています。代理店が売る他社製品、アクセサリだけ、白色光の干渉計は載せていません。

COMPARE

フィゾー型・トワイマングリーン型・斜入射型・測長用。測定口径と精度の違いで比べます。

ハンディ・据え置き・光学式。測定長・分解能・測定力の違いで比べます。

門形のCNC・手動・アームやハンディプローブ・インラインの三次元測定機を、測定範囲・精度・プローブ・温度で比べ、種類の違いとJIS B 7440の精度の読み方もまとめます。