石英ボートのメーカー7社比較【2026年】

載せた7製品のどれにも公開価格はありません。形・ウエハー径・溝数で作りが変わるので、図面か現物を見せて見積もりを取ります。USTRONの石英ボートもカワタ石英硝子の石英ボートも、窓口はお問い合わせです。

一番の違いはウエハーの径と炉の形です。小径のウエハーでは横型が多く、口径の大きいウエハーでは縦型が多く使われます。今の炉は縦型が主流です。

カワタ石英硝子は縦型・横型のほかに円筒型・箱型・板溝型を挙げています。周南クオーツは石英リングボート、ヒメジ理化は小口径向けの石英ハンガーを作ります。

あります。USTRONとカワタ石英硝子は2インチから12インチまで、周南クオーツは12インチ縦型ボートを案内しています。テクノクオーツとSCREEN SPE クォーツは300mmウエハー用を作ります。

カワタ石英硝子は最高使用温度を約1,100℃、常時使用を約900℃としています。軟化点は約1,700℃ですが、その温度まで使えるわけではありません。USTRONも1000℃近くまでと書いています。

溶融石英は天然の水晶や石英砂を溶かして作り、合成石英より低価格です。合成石英は化学的な合成で作り、純度がさらに高くなります。SCREEN SPE クォーツは合成石英の製造ラインを持ちます。

拡散・酸化・アニールなどの熱処理と、CVDなどの成膜が中心です。ヒメジ理化のウエハーボートは拡散・酸化・成膜で使い、周南クオーツは洗浄やエッチングの工程の石英製品も作ります。

アルカリ溶液・フッ酸・300℃以上のリン酸には侵されます。使う薬液は、見積もりの前に伝えます。

1,150℃以上で長く加熱すると、石英ガラスの中が結晶に変わり始めるからです。カワタ石英硝子は結晶化をクリストバライトへの変化と説明しています。ワコム製作所は失透や変形の修理も受けます。

できます。カワタ石英硝子はヒビや割れの再生加工、ヒメジ理化は修理・洗浄・改造を案内しています。周南クオーツは再生加工、ワコム製作所はカケ・ひび割れ・破損の修理を受けます。

ウエハーの径、溝の数、形の3つを先に伝えます。カワタ石英硝子は取っ手付きや車輪付きの形も挙げているので、運び方も書き添えます。使う工程と温度も一緒に伝えます。