石英ボートとは？縦型と横型の違い、ウエハー径・耐熱温度・修理の選び方

石英ボートとは？言葉の意味と用途

石英ボートは、半導体の製造工程でウエハーを保持して運ぶ治具です。ウエハーボートとも呼びます。ウエハーを差し込む溝があり、溝の数が一度に処理できる枚数を決めます。

拡散・酸化・アニールの熱処理と、CVDなどの成膜の炉で使います。石英ガラスは軟化点が約1,700℃と高く、熱で伸び縮みしにくいので、高温の炉の中でも形を保ちます。

比較ページでは、自社で作る会社の石英ボートを、公式資料の形・ウエハー径・工程・材質・修理で並べています。

縦型と横型の違い

• 横型は小径のウエハーで多く使います。
• 縦型は口径の大きいウエハーで多く使います。今の炉は縦型が主流です。
• 円筒型・箱型・板溝型もあり、カワタ石英硝子が案内しています。
• 周南クオーツは石英リングボート、ヒメジ理化は小口径向けの石英ハンガーを作ります。

選ぶときに見るところ

• ウエハーの径を見ます。USTRONとカワタ石英硝子の案内は、2インチから12インチまでです。
• 大口径なら、300mm用を作る会社に当たります。テクノクオーツとSCREEN SPE クォーツが案内しています。
• 長さを見ます。USTRONはボートの長さを最長2.5mまでとしています。
• 材質の純度を見ます。USTRONの案内は純度が最大99.999%です。合成石英は溶融石英より純度が高く、価格も上がります。
• 自動搬送の炉なら、ヒメジ理化の自動搬送に合わせた型を確かめます。

温度と薬品の注意

• カワタ石英硝子は、最高使用温度を約1,100℃、常時使用を約900℃としています。
• 1,150℃以上で長く加熱すると失透が始まります。
• アルカリ溶液・フッ酸・300℃以上のリン酸には侵されます。

修理と再生

割れや変形が出ても、作り直す前に修理を聞きます。カワタ石英硝子はヒビや割れの再生加工とフッ酸洗浄、ヒメジ理化は修理・洗浄・改造、周南クオーツは再生加工を案内しています。ワコム製作所はカケ・ひび割れ・破損のほか、変形と失透の修理も受けます。

価格の調べ方

載せた製品に公開価格はありません。形・ウエハー径・溝の数・使う工程と温度を書いて、図面か現物の写真を添えて見積もりを取ります。