ウェハーケースのメーカー7社比較【2026年】

ここに載せた13製品に、メーカーが公式に出している価格はありません。ミライアル、信越ポリマー、大日商事などの製品ページは、問い合わせの窓口を案内しています。径と枚数、材質、数量を伝えて見積もりをとって比べます。

FOUPは工場の中の工程で使い、FOSBはウェーハメーカーから半導体工場まで運ぶときに使います。インテグリスの資料も、FOSBを搬送容器、FOUPを工程内容器と分けています。どちらも300mm用の前開きで、信越ポリマーのFOUP300EXとMW300GTは最大25枚です。

工程内のFOUP、出荷のFOSB、カセットとケース、水平に入れるHWSや枚葉ケースの4つに分けました。300mmの工程ならFOUP、出荷ならFOSBです。カセットをケースに入れる形では、8インチ用に冨士ベークライトのFB20A100とFB20C001があります。

ウェーハを1枚だけ入れるケースです。アキレスのSS-12STは12インチ1枚を両面非接触で入れ、インテグリスのH93-120-101-1116は300mmを1枚入れます。インテグリスの製品は透明で、開けずに中を確かめられます。

多枚数の型は25枚か26枚です。ミライアルのKT-3003MIRは、26枚目をダミーにして25枚目のウェーハを守るために26枚入りにしています。大日商事のSF300-03も26枚入りです。

静電気を嫌うウェーハは、導電性か帯電防止の材料の型を選びます。大日商事のSF300-03は筐体が導電性で主要部品が導電性〜帯電防止性、アキレスのプロトスキャリアはANSI/ESD規格に準拠した導電性能を出しています。冨士ベークライトのFB20A100は帯電防止のキャリアです。

製品で材質が決まります。ミライアルのKT-3003MIRとインテグリスのSB300はポリカーボネート、大日商事のCR300L-02LF-P7はPFA、大野社のキャリアはPTFEです。インテグリスの150mm用の出荷容器は高純度ポリプロピレンを使います。

前開きの300mm用では、インテグリスのSB300が奥行332.77mm、幅389.52mm、高さ336.93mmで、ミライアルのKT-3004A-4が全長327mm、全幅389.5mm、全高341.8mmです。枚葉のアキレスSS-12STは高さ21mmまで薄くなります。

ミライアルのKT-3003MIRとKT-3004A-4、信越ポリマーのMW300GT、大日商事のSF300-03は、SEMI規格への準拠を公式に書いています。アキレスのNA-300LAはロードポートに使えるSEMI規格の型で、インテグリスのSB300はFIMSに合わせています。

ミライアルのKT-3003MIRとKT-3004A-4は、必要な部品だけ替えられる作りです。KT-3004A-4はリサイクルのときに材質ごとに分別できます。インテグリスのH93シリーズは、クッションを交換できます。

大日商事は1997年に山形県米沢市に成形工場を立ち上げています。ミライアルは高機能樹脂製品の開発と製造販売を事業に掲げ、冨士ベークライトは自社開発の材料で半導体容器を作っています。どの工場で作るかは製品ごとに公式に書かれていないので、発注の前に各社へ確かめます。