ウェハーケースとは？FOUP・FOSB・カセット・枚葉ケースの種類と違い、枚数・材質・価格の選び方

この記事の答え

ウェハーケースは、半導体のウェーハを傷と汚れと静電気から守って、運ぶ・出荷する・しまうための容器です。工程内のFOUP、出荷のFOSB、カセットとケース、水平に入れるHWSと枚葉ケースの4つに分かれます。選ぶときは「ウェーハ径」「使う場面」「枚数と材質」の3つを先に決めます。価格を公式に出している製品は無いので、見積もりで比べます。

ウェハーケースとは

ウェハーケースは、半導体のシリコンウェーハや化合物ウェーハを入れて、工程の間で運び、工場の間で出荷し、クリーンルームにしまう容器です。ウェーハ容器・ウェーハキャリアとも呼びます。

比較ページには、自社で製造している会社の製品と、海外メーカーの日本法人が扱う製品を、各社の代表の型式の単位で載せています。ウェーハそのものは載せていません。

4つの種類

FOUP：工程の中で運ぶ前開きの容器です。例はミライアルの KT-3003MIR、信越ポリマーの FOUP300EX、大日商事の SF300-03 ⁠⁠です
FOSB：ウェーハメーカーから半導体工場へ運ぶ前開きの容器です。例はミライアルの KT-3004A-4、信越ポリマーの MW300GT、インテグリスの SB300 ⁠⁠⁠です
カセット・キャリアと収納ケース：溝に立てて入れるカセットと、カセットごとしまうケースです。例は大日商事の CR300L-02LF-P7、冨士ベークライトの FB20A100 と FB20C001、大野社の PTFE ウェハキャリアです
水平置きケース：水平に入れるHWSと、1枚だけ入れる枚葉ケースです。例はアキレスの NA-300LA と SS-12ST、インテグリスの H93-120-101-1116 ⁠⁠です

FOUPとFOSBの違い

FOUPは、工場の中で何度も運ぶ工程内の容器です。ミライアルの KT-3003MIR は、フタのガスケットを二重にしています
FOSBは、出荷と輸送に使う容器です。ミライアルの KT-3004A-4 は、ロードポートでも手でも開け閉めできます
インテグリスの資料も、FOSBを搬送容器、FOUPを工程内容器と分けています

収納枚数

多枚数の型は25枚か26枚です。信越ポリマーの FOUP300EX と MW300GT は最大25枚です
ミライアルの KT-3003MIR は26枚入りで、26枚目をダミーにして25枚目のウェーハを守ります
枚葉ケースは1枚です。アキレスの SS-12ST は12インチを両面非接触で入れます

材質と帯電防止

ミライアルの KT-3003MIR はPC、大日商事の CR300L-02LF-P7 はPFA、大野社のキャリアはPTFEです
大日商事の SF300-03 は、筐体が導電性で、主要部品が導電性〜帯電防止性です
冨士ベークライトの FB20A100 は、自社開発の材料 e-mateX で作る帯電防止のキャリアです
透明なカバーでUVの透過が問題になるときは、非透明カバーの型や、UVカット窓の付いた型を選びます

規格と値段

ミライアルの2製品、信越ポリマーの MW300GT、大日商事の SF300-03 は、SEMI規格への準拠を公式に書いています。インテグリスの SB300 はFIMSに合わせた型です
値段を公式に出しているメーカーは、ここに載せた中にはありません。径と枚数、材質、数量を伝えて見積もりをとります