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石英ボートの強みと方式
縦型・横型のほか、
向いている所形を
形：縦型・横型の両方
縦型と
石英ボートの仕様
- 形
- 縦型・横型の両方
- 形
- 縦型、横型、
円筒型、箱型、 板溝型 - 対応ウエハー
- 2〜12インチ
- 使う工程
- 拡散、酸化、
アニール、 CVD、蒸着、 エッチング - 材質
- —公式資料で
確認できず - 溝・加工
- 溝切加工、
スリット加工 - 修理・再生
- ヒビや
割れの 再生加工、 フッ酸洗浄 - 価格
- —公式資料で
確認できず - ボートの長さ
- —公式資料で
確認できず - 耐熱温度
- 最高使用 約1,100℃、
常時 約900℃
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 石英ボート株式会社 | 縦型石英 | ウエハーボートヒメジ理化 | |
|---|---|---|---|
| 形 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 |
| 形 | 縦型、横型、 | 縦型、横型 | 縦型、横型、 |
| 対応ウエハー | 2〜12インチ | 300mm | —公式資料で |
| 使う工程 | 拡散、酸化、 | —公式資料で | 拡散、 |
| 材質 | —公式資料で | 高純度石英 | 石英ガラス |
| 溝・加工 | 溝切加工、 | 火炎加工 | —公式資料で |
| 修理・再生 | ヒビや | —公式資料で | 修理、 |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| ボートの長さ | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 耐熱温度 | 最高使用 約1,100℃、 | —公式資料で | —公式資料で |
石英ボートのよくある質問
Q.石英ボートはどんな人に向いている？
石英ボートは、形を細かく決めたい受注品に使う人向けです。石英ボートは、縦型・横型のほか、円筒型・箱型・板溝型まで形を挙げて案内しています。
Q.石英ボートの強みは？
石英ボートは、取っ手付きや車輪付きの形もあり、装置と工程に合わせて作り分けます。ヒビや割れの再生加工とフッ酸洗浄も頼めます。
Q.石英ボートはどんな方式？
石英ボートの形は縦型・横型の両方です。縦型と横型の両方を作ると案内している会社です。
Q.石英ボートの主な仕様は？
石英ボートの形は縦型、横型、円筒型、箱型、板溝型、対応ウエハーは2〜12インチです。使う工程は拡散、酸化、アニール、CVD、蒸着、エッチング、溝・加工は溝切加工、スリット加工です。
Q.石英ボートと縦型石英ボートはどっちがいい？
形を細かく決めたい受注品なら石英ボート、300mmウエハー用の大型ボートならテクノクオーツの縦型石英ボートです。石英ボートの形は縦型、横型、円筒型、箱型、板溝型、対応ウエハーは2〜12インチです。テクノクオーツの縦型石英ボートの形は縦型、横型、対応ウエハーは300mmです。
Q.石英ボートの修理・再生は？
石英ボートの修理・再生はヒビや割れの再生加工、フッ酸洗浄です。ヒメジ理化のウエハーボートの修理・再生は修理、洗浄、改造です。
Q.石英ボートの耐熱温度は？
石英ボートの耐熱温度は最高使用 約1,100℃、常時 約900℃です。USTRONの石英ボートの耐熱温度は軟化点 約1700℃です。
Q.石英ボートとウエハーボートはどっちがいい？
形を細かく決めたい受注品なら石英ボート、自動搬送の炉と修理・改造ならヒメジ理化のウエハーボートです。石英ボートの形は縦型、横型、円筒型、箱型、板溝型、対応ウエハーは2〜12インチです。ヒメジ理化のウエハーボートの形は縦型、横型、自動搬送対応型、使う工程は拡散、酸化、成膜（CVD）です。
Q.石英ボートはどこのメーカー？
石英ボートは株式会社カワタ石英硝子の製品です。カワタ石英硝子の主な製品分野は石英ボートです。
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