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ウエハーボートの強みと方式
縦型・
向いている
形：縦型・横型の両方
縦型と
ウエハーボートの仕様
- 形
- 縦型・横型の両方
- 形
- 縦型、横型、
自動搬送対応型 - 対応ウエハー
- —公式資料で
確認できず - 使う工程
- 拡散、
酸化、 成膜（CVD） - 材質
- 石英ガラス
- 溝・加工
- —公式資料で
確認できず - 修理・再生
- 修理、
洗浄、改造 - 価格
- —公式資料で
確認できず - ボートの長さ
- —公式資料で
確認できず - 耐熱温度
- —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| ウエハーボートヒメジ理化 | 石英ボートUSTRON | 石英ボート株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 形 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 |
| 形 | 縦型、横型、 | 横型、縦型 | 縦型、横型、 |
| 対応ウエハー | —公式資料で | 2インチ | 2〜12インチ |
| 使う工程 | 拡散、 | CVD、 | 拡散、酸化、 |
| 材質 | 石英ガラス | 純度 最大99.999% | —公式資料で |
| 溝・加工 | —公式資料で | 切断、溝切、研磨、研削、 | 溝切加工、 |
| 修理・再生 | 修理、 | —公式資料で | ヒビや |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| ボートの長さ | —公式資料で | 最長 | —公式資料で |
| 耐熱温度 | —公式資料で | 軟化点 約1700℃ | 最高使用 約1,100℃、 |
ウエハーボートのよくある質問
Q.ウエハーボートはどんな人に向いている？
ウエハーボートは、自動搬送の炉と修理・改造に使う人向けです。ウエハーボートは、縦型・横型に加えて、自動搬送に合わせた型を案内しています。
Q.ウエハーボートの強みは？
ウエハーボートは、小口径向けの石英ハンガーや太陽電池向けの特殊ボートも作ります。使用中のボートの修理・洗浄・改造も頼めます。
Q.ウエハーボートはどんな方式？
ウエハーボートの形は縦型・横型の両方です。縦型と横型の両方を作ると案内している会社です。
Q.ウエハーボートの主な仕様は？
ウエハーボートの形は縦型、横型、自動搬送対応型、使う工程は拡散、酸化、成膜（CVD）です。材質は石英ガラス、修理・再生は修理、洗浄、改造です。
Q.ウエハーボートと石英ボートはどっちがいい？
自動搬送の炉と修理・改造ならウエハーボート、長さ2.5mまでの大きなボートならUSTRONの石英ボートです。ウエハーボートの形は縦型、横型、自動搬送対応型、使う工程は拡散、酸化、成膜（CVD）です。USTRONの石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。
Q.ウエハーボートと石英ボートはどっちがいい？
自動搬送の炉と修理・改造ならウエハーボート、形を細かく決めたい受注品ならカワタ石英硝子の石英ボートです。ウエハーボートの形は縦型、横型、自動搬送対応型、使う工程は拡散、酸化、成膜（CVD）です。カワタ石英硝子の石英ボートの形は縦型、横型、円筒型、箱型、板溝型、対応ウエハーは2〜12インチです。
Q.ウエハーボートはどこのメーカー？
ウエハーボートはヒメジ理化株式会社の製品です。ヒメジ理化の主な製品分野は石英ボートです。
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