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石英ボートの強みと方式
カケや
向いている所傷みの
石英ボートの仕様
- 形
- 形を
公式に 書いていない製品 - 形
- —公式資料で
確認できず - 対応ウエハー
- —公式資料で
確認できず - 使う工程
- CVD、
酸化、拡散 - 材質
- 透明石英
ガラス、 不透明石英 ガラス - 溝・加工
- 溶接組立、
研削加工 - 修理・再生
- カケ、
ひび割れ、破損、変形、 失透の修理 - 価格
- —公式資料で
確認できず - ボートの長さ
- —公式資料で
確認できず - 耐熱温度
- —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 石英ボート株式会社 | 石英ボート株式会社 | 石英ボートUSTRON | |
|---|---|---|---|
| 形 | 形を | 形を | 縦型・横型の両方 |
| 形 | —公式資料で | —公式資料で | 横型、縦型 |
| 対応ウエハー | —公式資料で | 300mm | 2インチ |
| 使う工程 | CVD、 | 熱処理 | CVD、 |
| 材質 | 透明石英 | 溶融石英、 | 純度 最大99.999% |
| 溝・加工 | 溶接組立、 | —公式資料で | 切断、溝切、研磨、研削、 |
| 修理・再生 | カケ、 | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| ボートの長さ | —公式資料で | —公式資料で | 最長 |
| 耐熱温度 | —公式資料で | —公式資料で | 軟化点 約1700℃ |
石英ボートのよくある質問
Q.石英ボートはどんな人に向いている？
石英ボートは、傷みの出たボートの修理も頼む人向けです。石英ボートは、カケやひび割れだけでなく、長く使って出た変形や失透まで修理を受けます。
Q.石英ボートの強みは？
石英ボートは、透明と不透明の石英ガラスを加工し、溶接組立と研削加工の両方を持ちます。ウエハー径と形は公式に書いていないので、図面で確かめます。
Q.石英ボートの主な仕様は？
石英ボートの使う工程はCVD、酸化、拡散、材質は透明石英ガラス、不透明石英ガラスです。溝・加工は溶接組立、研削加工、修理・再生はカケ、ひび割れ、破損、変形、失透の修理です。
Q.石英ボートと石英ボートはどっちがいい？
傷みの出たボートの修理も頼むなら石英ボート、炉芯管とそろえて頼む300mm品ならSCREEN SPE クォーツの石英ボートです。石英ボートの使う工程はCVD、酸化、拡散、材質は透明石英ガラス、不透明石英ガラスです。SCREEN SPE クォーツの石英ボートの対応ウエハーは300mm、使う工程は熱処理です。
Q.石英ボートと石英ボートはどっちがいい？
傷みの出たボートの修理も頼むなら石英ボート、長さ2.5mまでの大きなボートならUSTRONの石英ボートです。石英ボートの使う工程はCVD、酸化、拡散、材質は透明石英ガラス、不透明石英ガラスです。USTRONの石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。
Q.石英ボートはどこのメーカー？
石英ボートは株式会社ワコム製作所の製品です。ワコム製作所の主な製品分野は石英ボートです。
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