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縦型石英ボートの強みと方式
300mm
向いている所
形：縦型・横型の両方
縦型と
縦型石英ボートの仕様
- 形
- 縦型・横型の両方
- 形
- 縦型、横型
- 対応ウエハー
- 300mm
- 使う工程
- —公式資料で
確認できず - 材質
- 高純度石英
ガラス - 溝・加工
- 火炎加工
- 修理・再生
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - ボートの長さ
- —公式資料で
確認できず - 耐熱温度
- —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 縦型石英 | ウエハーボートヒメジ理化 | 石英ボートUSTRON | |
|---|---|---|---|
| 形 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 |
| 形 | 縦型、横型 | 縦型、横型、 | 横型、縦型 |
| 対応ウエハー | 300mm | —公式資料で | 2インチ |
| 使う工程 | —公式資料で | 拡散、 | CVD、 |
| 材質 | 高純度石英 | 石英ガラス | 純度 最大99.999% |
| 溝・加工 | 火炎加工 | —公式資料で | 切断、溝切、研磨、研削、 |
| 修理・再生 | —公式資料で | 修理、 | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| ボートの長さ | —公式資料で | —公式資料で | 最長 |
| 耐熱温度 | —公式資料で | —公式資料で | 軟化点 約1700℃ |
縦型石英ボートのよくある質問
Q.縦型石英ボートはどんな人に向いている？
縦型石英ボートは、300mmウエハー用の大型ボートに使う人向けです。縦型石英ボートは、300mmウエハーに使う大型のボートを火炎加工で作っています。
Q.縦型石英ボートの強みは？
縦型石英ボートは、半導体製造装置向けの縦型を代表に、横型の形も製作します。反応管や洗浄槽も同じ火炎加工の製品としてそろいます。
Q.縦型石英ボートはどんな方式？
縦型石英ボートの形は縦型・横型の両方です。縦型と横型の両方を作ると案内している会社です。
Q.縦型石英ボートの主な仕様は？
縦型石英ボートの形は縦型、横型、対応ウエハーは300mmです。材質は高純度石英ガラス、溝・加工は火炎加工です。
Q.縦型石英ボートとウエハーボートはどっちがいい？
300mmウエハー用の大型ボートなら縦型石英ボート、自動搬送の炉と修理・改造ならヒメジ理化のウエハーボートです。縦型石英ボートの形は縦型、横型、対応ウエハーは300mmです。ヒメジ理化のウエハーボートの形は縦型、横型、自動搬送対応型、使う工程は拡散、酸化、成膜（CVD）です。
Q.縦型石英ボートと石英ボートはどっちがいい？
300mmウエハー用の大型ボートなら縦型石英ボート、長さ2.5mまでの大きなボートならUSTRONの石英ボートです。縦型石英ボートの形は縦型、横型、対応ウエハーは300mmです。USTRONの石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。
Q.縦型石英ボートはどこのメーカー？
縦型石英ボートはテクノクオーツ株式会社の製品です。テクノクオーツの主な製品分野は石英ボートです。
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