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石英ボート

石英ボート

株式会社SCREEN SPE クォーツ

300mm用の炉芯管とボートをそろえて作る。

価格
公開価格なし（見積もり）
向いている所
炉芯管とそろえて頼む300mm品
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比較表での位置

石英ボートは、石英ボートのメーカー7社比較⁠の表に載っています。

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  • 2製品同じ形
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石英ボートの強みと方式

炉芯管・キャップ・保温筒と同じ会社で、300mmウエハー用のボートをそろえられます。溶融石英より純度の高い合成石英の製造ラインを持ちます。縦型・横型の別は公式に書いていないので、図面で確かめます。

向いている所炉芯管とそろえて頼む300mm品

石英ボートの仕様

形
形を公式に書いていない製品
形
—公式資料で確認できず
対応ウエハー
300mm
使う工程
熱処理
材質
溶融石英、合成石英
溝・加工
—公式資料で確認できず
修理・再生
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
ボートの長さ
—公式資料で確認できず
耐熱温度
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

石英ボート株式会社SCREEN SPE クォーツ石英ボート株式会社ワコム製作所石英ボートUSTRON株式会社
形形を公式に書いていない製品形を公式に書いていない製品縦型・横型の両方
形—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず横型、縦型
対応ウエハー300mm—公式資料で確認できず2インチ〜12インチ
使う工程熱処理CVD、酸化、⁠⁠⁠⁠⁠⁠拡散CVD、酸化、⁠⁠⁠⁠⁠⁠拡散
材質溶融石英、合成石英透明石英ガラス、不透明石英ガラス純度 最大99.999%
溝・加工—公式資料で確認できず溶接組立、研削加工切断、溝切、研磨、研削、穴あけ、溶接、火加工
修理・再生—公式資料で確認できずカケ、ひび割れ、破損、変形、失透の修理—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ボートの長さ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず最長2.5m
耐熱温度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず軟化点 約1700℃

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石英ボートのよくある質問

Q.石英ボートはどんな人に向いている？
石英ボートは、炉芯管とそろえて頼む300mm品に使う人向けです。石英ボートは、炉芯管・キャップ・保温筒と同じ会社で、300mmウエハー用のボートをそろえられます。
Q.石英ボートの強みは？
石英ボートは、溶融石英より純度の高い合成石英の製造ラインを持ちます。縦型・横型の別は公式に書いていないので、図面で確かめます。
Q.石英ボートの主な仕様は？
石英ボートの対応ウエハーは300mm、使う工程は熱処理です。材質は溶融石英、合成石英です。
Q.石英ボートと石英ボートはどっちがいい？
炉芯管とそろえて頼む300mm品なら石英ボート、傷みの出たボートの修理も頼むならワコム製作所の石英ボートです。石英ボートの対応ウエハーは300mm、使う工程は熱処理です。ワコム製作所の石英ボートの使う工程はCVD、酸化、拡散、材質は透明石英ガラス、不透明石英ガラスです。
Q.石英ボートと石英ボートはどっちがいい？
炉芯管とそろえて頼む300mm品なら石英ボート、長さ2.5mまでの大きなボートならUSTRONの石英ボートです。石英ボートの対応ウエハーは300mm、使う工程は熱処理です。USTRONの石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。
Q.石英ボートはどこのメーカー？
石英ボートは株式会社SCREEN SPE クォーツの製品です。SCREEN SPE クォーツの主な製品分野は石英ボートです。

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    出典
    1. 株式会社SCREEN SPE クォーツ 公式
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