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石英ボートの強みと方式
ボートの
向いている所長さ
形：縦型・横型の両方
縦型と
石英ボートの仕様
- 形
- 縦型・横型の両方
- 形
- 横型、縦型
- 対応ウエハー
- 2インチ
〜12インチ - 使う工程
- CVD、
酸化、拡散 - 材質
- 純度 最大99.999%
- 溝・加工
- 切断、溝切、研磨、研削、
穴あけ、溶接、 火加工 - 修理・再生
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - ボートの長さ
- 最長
2.5m - 耐熱温度
- 軟化点 約1700℃
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 石英ボートUSTRON | 石英ボート株式会社 | 縦型石英 | |
|---|---|---|---|
| 形 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 | 縦型・横型の両方 |
| 形 | 横型、縦型 | 縦型、横型、 | 縦型、横型 |
| 対応ウエハー | 2インチ | 2〜12インチ | 300mm |
| 使う工程 | CVD、 | 拡散、酸化、 | —公式資料で |
| 材質 | 純度 最大99.999% | —公式資料で | 高純度石英 |
| 溝・加工 | 切断、溝切、研磨、研削、 | 溝切加工、 | 火炎加工 |
| 修理・再生 | —公式資料で | ヒビや | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| ボートの長さ | 最長 | —公式資料で | —公式資料で |
| 耐熱温度 | 軟化点 約1700℃ | 最高使用 約1,100℃、 | —公式資料で |
石英ボートのよくある質問
Q.石英ボートはどんな人に向いている？
石英ボートは、長さ2.5mまでの大きなボートに使う人向けです。石英ボートは、ボートの長さを最長2.5mまで公式に示しています。
Q.石英ボートの強みは？
石英ボートは、2インチから12インチまでのウエハーに使え、CVD・酸化・拡散の炉に合わせて作ります。関係会社から石英素材を調達し、材料の純度は最大99.999%です。
Q.石英ボートはどんな方式？
石英ボートの形は縦型・横型の両方です。縦型と横型の両方を作ると案内している会社です。
Q.石英ボートの主な仕様は？
石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。使う工程はCVD、酸化、拡散、材質は純度 最大99.999%です。
Q.石英ボートと石英ボートはどっちがいい？
長さ2.5mまでの大きなボートなら石英ボート、形を細かく決めたい受注品ならカワタ石英硝子の石英ボートです。石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。カワタ石英硝子の石英ボートの形は縦型、横型、円筒型、箱型、板溝型、対応ウエハーは2〜12インチです。
Q.石英ボートの溝・加工は？
石英ボートの溝・加工は切断、溝切、研磨、研削、穴あけ、溶接、火加工です。カワタ石英硝子の石英ボートの溝・加工は溝切加工、スリット加工です。
Q.石英ボートの耐熱温度は？
石英ボートの耐熱温度は軟化点 約1700℃です。カワタ石英硝子の石英ボートの耐熱温度は最高使用 約1,100℃、常時 約900℃です。
Q.石英ボートと縦型石英ボートはどっちがいい？
長さ2.5mまでの大きなボートなら石英ボート、300mmウエハー用の大型ボートならテクノクオーツの縦型石英ボートです。石英ボートの形は横型、縦型、対応ウエハーは2インチ〜12インチです。テクノクオーツの縦型石英ボートの形は縦型、横型、対応ウエハーは300mmです。
Q.石英ボートはどこのメーカー？
石英ボートはUSTRON株式会社の製品です。登記上の本店は〒110-0016 東京都台東区台東1丁目22番4号アストロン台東ビル。USTRONの主な製品分野は石英ボートです。
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