枚葉式洗浄装置（半導体ウェーハ用）のメーカー5社比較【2026年】

このページの5社は、どれも値段を公式に出していないため、見積もりを取る必要があります。チャンバーの数、使う薬液、乾燥のしかた、搬送の構成で値段が大きく変わります。ウェーハ径・1時間に流す枚数・薬液の種類・乾燥のしかたを決めて伝えると、5社を同じ条件で比べられます。搬送とつなぐ前後の装置も伝えておきます。

チャンバーの数で決まります。SCREENのSU-3400は24チャンバを6段×4タワーに積み、毎時最大1,200枚を処理します。東京エレクトロンのCELLESTA-iは毎時650枚です。芝浦メカトロニクスのSC300-FCは最大8チャンバーまで組めます。ラインで1時間に流す枚数から、チャンバーの数を決めてください。

1枚ごとに条件をそろえて、微細なパーティクルまで落としたいときです。枚葉式はウェーハを1枚ずつチャンバーで洗うので、端面や裏面まで洗えます。SCREENは、SU-3400がバッチ式にも迫る処理能力を持つとしています。薬液あたりの処理枚数を多くしたいなら、バッチ式のページも比べてください。

芝浦メカトロニクスのSC300-FCは、19nm以下の微細パーティクルに対応します。ウェーハの保持機構を新しくし、端面の清浄度まで上げています。プレテックのスピンソニッククリーナーは、400kHzのファインジェットでサブミクロンのパーティクルまで非接触で落とします。落としたい大きさを決めてから型を選んでください。

洗えます。プレテックのスピンソニッククリーナーは、ブラシを使わず、400kHzのファインジェットでウェーハの両面を同時に洗います。非接触なので、ブラシの手入れが要らず、ウェーハに傷を付けにくい洗い方です。エピ前後・CMP後・成膜前後の洗浄に使うので、工程を伝えて確かめてください。

装置の中で乾かします。東京エレクトロンのCELLESTA-iはHot IPAで乾かし、プレテックのスピンソニッククリーナーは1つのステージで洗浄から乾燥までを済ませます。ウォータマークを嫌う工程なら、IPAで水を置き換えて乾かす型を見てください。乾かし方の違いで、仕上がりが変わります。

ジェイ・イー・ティのHTS-300は、赤外線ランプでウエハ上の薬液を熱し、最高240℃で処理する枚葉式です。薬液は最小150ccで済み、ストリップ処理は最短30秒です。ウエハを裏返して処理し、薬液の蒸気が広がるのを防ぎます。使う薬液と温度を伝えて、処理の条件と処理にかかる時間を確かめてください。

東京エレクトロンのCELLESTA-iは、従来装置に比べてクリーンルームの占有面積を大きく減らした型です。プレテックのスピンソニッククリーナーは常温で処理し、ヒーターを使わないので、消費電力を抑えます。置き場所の広さと、使える純水と排気の量をメーカーに伝えて、構成を相談してください。

チャンバーを1つずつ止めて手入れできる型があります。SCREENのSU-3400はシングルチャンバサービスに対応し、高解像度カメラでチャンバの中を見張る機能も載っています。ラインを止めずに手入れしたいなら、1つのチャンバーだけ止めて手入れできるかを、見積もりの前にメーカーに確かめてください。

このページには、ジェイ・イー・ティ・SCREENセミコンダクターソリューションズ・芝浦メカトロニクス・東京エレクトロン・プレテックの5社を載せています。量産の処理能力ならSCREENか東京エレクトロン、最終洗浄なら芝浦メカトロニクス、高温処理ならジェイ・イー・ティから見ると早く絞れます。