バッチ式洗浄装置（ウェットステーション）のメーカー4社比較【2026年】

このページの4社は、どれも値段を公式に出していないため、見積もりを取る必要があります。槽の数と並び、使う薬液、乾燥のしかた、搬送の構成で値段が大きく変わります。ウェーハ径・1時間に流す枚数・槽の構成・乾燥のしかたを決めて伝えると、4社を同じ条件で比べられます。使う薬液の種類も一緒に伝えておきます。

量産向けの300mm装置で毎時1,000枚です。東京エレクトロンのEXPEDIUS-iは1回に最大50枚をまとめて処理し、毎時1,000枚を流せます。SCREENのFC-3100も、高速搬送モジュールなどで毎時1,000枚を処理します。ラインで流す枚数から、台数を決めてください。

薬液あたりの処理枚数を多くしたいときです。バッチ式は50枚のウェーハをまとめて槽で処理し、処理槽を並べていろいろな薬液処理を続けて行えます。東京エレクトロンは、EXPEDIUSをコスト効率に優れたバッチ式洗浄装置としています。1枚ずつ条件をそろえたいなら、枚葉式のページも比べてください。

決められます。PHTのSCC-250は、処理槽の数や並びをラインに合わせて作り込みます。ジェイ・イー・ティのBW3700は、薬液と純水の槽を1つずつにした構成にもできます。東京エレクトロンのEXPEDIUS-iは処理槽を複数並べます。使う薬液と処理の順番を決めて、メーカーと構成を打ち合わせてください。

SCREENのFC-3100は、減圧乾燥システムHiLPDでキャリアN2を使わずに高濃度IPAを送って乾かし、ウォータマークを大きく抑えます。東京エレクトロンのEXPEDIUS-iはNew SD2という乾燥を使います。乾燥のしかたで仕上がりが変わるので、工程に合う乾かし方をメーカーに確かめてください。

ジェイ・イー・ティのBW3700は、ウエハの間隔を7mmに詰めて処理し、設置面積を小さくした作りです。工場の中に置く台数を増やせます。SCREENのFC-3100は、本体を7つの独立モジュールに分けて組み合わせる作りです。置き場所の広さと、工場に置きたい台数を伝えて、構成を相談してください。

量産向けの装置は300mmが中心です。東京エレクトロン・SCREEN・ジェイ・イー・ティの装置は300mm用です。PHTのSCC-250は、直径200mmと300mmのシリコンウェーハに使えます。200mmのラインで使うなら、PHTから見てください。キャリアの形も伝えて確かめておきます。

仕様を打ち合わせて決めます。PHTのSCC-250は、シリコンのウェーハ用で、SiCなどの化合物半導体は別に仕様を打ち合わせるとしています。化合物のウェーハを流すなら、材質・径・厚み・使う薬液を伝えて、メーカーと仕様を詰めてください。6・8インチのSiCウエハを洗う枚葉の装置もあるので、スクラバーのページのSiC用装置も比べておきます。

ジェイ・イー・ティのBW3700は、リバースフローシステムで液の置き換えの効率を上げています。ウエハの接触部も小さくしています。槽の中で液がどう流れるかで、洗いむらと処理の時間が変わります。使う薬液とリンスの順番を伝え、置き換えにかかる時間と純水の使う量をメーカーに確かめてください。

このページには、ジェイ・イー・ティ・SCREENセミコンダクターソリューションズ・東京エレクトロン・PHTの4社を載せています。300mmの量産で処理能力を見るなら東京エレクトロンかSCREEN、設置面積ならジェイ・イー・ティ、200mmや槽の作り込みならPHTから見ると早く絞れます。