ウェーハ用スピン乾燥機（スピンドライヤー）のメーカー2社比較【2026年】

このページの2社は、どちらも値段を公式に出していないため、見積もりを取る必要があります。ウェーハ径、カセットの数、手で入れる型かラインに組み込む型か、オプションで値段が変わります。ウェーハ径・厚み・1回に乾かす枚数・装填のしかたを伝えると、2社を同じ条件で比べられます。オプションの有無も一緒に聞いておきます。

ジャパンクリエイトのSPDシリーズは300mm以下のウエハーをカセットに入れて乾かし、ダイキンファインテックのスピンドライヤーは3インチから8インチに使えます。12インチ（300mm）を乾かすならジャパンクリエイトから見てください。使っているカセットの形も伝えて、そのまま入るかを確かめておきます。

ダイキンファインテックのスピンドライヤーは、スピン乾燥で起きやすいウエーハの割れやパターン倒壊を、独自のダメージレスシステムで抑えます。3インチから8インチ、厚み150〜725μmのウエーハに使えます。薄いウェーハを乾かすなら、厚みとパターンを伝えて、割れずに乾かせるかを試してから選んでください。

変えられます。ジャパンクリエイトのSPDシリーズは、乾燥の回転数を0〜1200rpmの間で変えられ、通常は700〜1000rpmで使います。速く回すほど水は飛びますが、ウェーハにかかる力も大きくなります。割れやパターン倒壊を避けるため、ウェーハの厚みとパターンに合わせて、回転数をメーカーと決めてください。

ジャパンクリエイトのSPDシリーズは4キャリア型が基本で、2キャリア型もあります。8インチと12インチは2キャリア型です。カセットを手で縦に入れて回します。1回に乾かすカセットの数と、1日に乾かす回数から、型を選んでください。型式はSPD400・500・600・800・1200があります。

組み込める型があります。ダイキンファインテックのスピンドライヤーは、マニュアルタイプとインラインタイプを選べます。ジャパンクリエイトのSPDシリーズは、カセットを手で入れる型です。研究・試作なら手で入れる型、量産のラインなら組み込む型を選び、前後の装置をメーカーに伝えてください。

ダイキンファインテックのスピンドライヤーには、オートバランサー制御で乾燥の時間を短くするオプションがあります。乾燥の時間は、ウェーハの枚数と回転数、ウェーハ径で変わります。1日に乾かす回数が多いなら、オプションの有無と、ウェーハ径ごとの乾燥にかかる時間をメーカーに確かめてください。

フィルタで清浄な空気を送る型があります。ジャパンクリエイトのSPDシリーズはULPAフィルタ（0.1um、補修率99.9995%以上）を備えています。乾かすときに外の空気が入ると、パーティクルが付く元になります。置くクリーンルームの等級を伝えて、装置の中の清浄度を確かめてください。

洗浄装置に乾燥を組み込んだ型は、1台で洗って乾かします。スピン乾燥機は別に置くので、手で洗ったウェーハや別の装置で洗ったウェーハも乾かせます。洗う装置を替えずに乾燥だけを足したいなら、スピン乾燥機が合います。ウォータマークを抑えたいなら、SCREENのFC-3100のようなIPA乾燥の装置も比べてください。

このページには、ジャパンクリエイトとダイキンファインテックの2社を載せています。300mmまでのウエハーをカセットごと乾かすならジャパンクリエイト、薄いウエーハを割らずに乾かすならダイキンファインテックから見ると早く絞れます。洗浄から乾燥まで1台で済ませたいなら、枚葉式のページも比べてください。