ウェーハ用スクラバー（ブラシ洗浄装置）のメーカー3社比較【2026年】

このページの3社は、どれも値段を公式に出していないため、見積もりを取る必要があります。ブラシの数と形、組み合わせる洗い方、乾燥、つなぐ研磨機や搬送で値段が変わります。ウェーハ径・材質・1時間に流す枚数・前の工程を伝えると、3社を同じ条件で比べられます。ブラシの替えの値段も聞いておきます。

研磨やラップのあとに、ブラシでこすって大きめのパーティクルを落とす工程で使います。芝浦メカトロニクスのSC300-CCは研磨後洗浄、ナノテックの装置はラップ・研磨後のSiCウエハの洗浄に使います。ダイキンファインテックのBSPは、MEMS・LEDのウエーハ投入前のパーティクル除去にも使えます。

つなげる型があります。芝浦メカトロニクスのSC300-CCは研磨機に連結し、研磨後のウェーハをそのまま両面自公転ブラシで洗います。ウェーハの動線が短くなり、濡れたまま運ぶことで起きる逆汚染を防ぎます。ドライアウトで出すので、OHTで自動搬送もできます。使う研磨機をメーカーに伝えてください。

ナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置は、6インチと8インチのSiC基板ウエハに使えます。両面ロールブラシで大きなパーティクルを落とし、超音波・オゾン水と酸の順に洗って、回して乾かします。6インチは1枚60秒、8インチは1枚80秒で、洗浄レシピで変わります。1日に流す枚数を伝えて、台数を決めてください。

ダイキンファインテックのBSPは、4インチと6インチ、6インチと8インチのウエーハを段取り替えなしで流せます。ロードとスクラブのユニットを2ラインにして、工程を分けて洗い、汚れが移るのを抑える構成にもできます。MEMSやLEDのように径の違うウエーハを流すラインなら、流すウェーハ径の組み合わせを伝えて確かめてください。

選べる型があります。ダイキンファインテックのBSPは、PVAブラシのほか、ウレタンブラシにも替えられます。芝浦メカトロニクスのSC300-CCは両面自公転ブラシ、ナノテックの装置は両面ロールブラシです。落としたい汚れとウェーハの表面に合わせて、ブラシの材質をメーカーと決めてください。

落とせる型があります。芝浦メカトロニクスのSC300-CCは、19nm以下の微細パーティクルに対応します。ブラシは大きめのパーティクルを物理的に落とすのが得意なので、ナノテックの装置のように、ブラシのあとに超音波や薬液で洗う型もあります。落としたい大きさを伝えて、洗う順番を決めてください。

組み合わせられる型があります。ダイキンファインテックのBSPは、ロールブラシによる両面処理と2流体処理に使えます。ブラシでこすったあと、2流体で細かい汚れを流すと、ブラシだけより洗い方の幅が広がります。落としたい汚れと工程の条件を伝えて、ブラシと2流体の組み合わせ方をメーカーに確かめてください。

ナノテックの装置は、パーティクルを最小限に抑えるため、工程ごとにFFUを付けています。濡れたまま入れて、乾かして出す作りです。芝浦メカトロニクスのSC300-CCは、研磨機に連結してウェーハの動線を短くしています。クリーンルームの等級を伝えて、装置の中の清浄度を確かめてください。

このページには、芝浦メカトロニクス・ダイキンファインテック・ナノテックの3社を載せています。300mmの研磨後洗浄なら芝浦メカトロニクス、径の違うウエーハを流すならダイキンファインテック、SiCウエハならナノテックから見ると早く絞れます。ブラシを使わない洗い方なら枚葉式のページも比べてください。